感测装置制造方法及图纸

一种感测装置具有微机电传感器、源极随耦器与放大器；源极随耦器具有第一输出模块；第一输出模块具有第一晶体管与第二晶体管，微机电传感器用以产生输入信号，第一晶体管的第一端用以接收第一参考电压，第一晶体管的第二端电性连接第一输出端，第一晶体管的控制端电性连接第一电流源，第二晶体管的第一端电性连接第一晶体管的第二端，第二晶体管的第二端电性连接第一晶体管的控制端，第二晶体管的控制端用以接收输入信号，放大器的第一输入端电性连接第一输出端，放大器的第二输入端用以接收共模电压。本发明专利技术的感测装置中的源极随耦器输出端所电性连接的放大器不需要使用太大的电阻，得以降低放大器的输出信号的噪声。

Sensing device

A sensor has a microelectromechanical sensor, a source coupler and an amplifier; the source pole coupling device has a first output module; the first output module has a first transistor and a second transistor, a microelectromechanical sensor to produce an input signal, and the first end of the first transistor is used to receive the first reference voltage, the first transistor. The second terminal electrically connected to the first output end, the control end of the first transistor is electrically connected to the first current source, the first end of the second transistor is electrically connected to the second end of the first transistor, the second end of the second transistor connects the control end of the first transistor, and the control end of the second transistor is used to receive the input signal and magnify. The first input end of the device is electrically connected with the first output terminal, and the second input end of the amplifier is used for receiving common mode voltage. The amplifier in the sensing device of the present invention does not need to use too much resistance to reduce the noise of the output signal of the amplifier by the amplifier that is connected to the output end of the coupling.

【技术实现步骤摘要】
感测装置
本专利技术涉及一种感测装置，尤其涉及一种具有微机电传感器的感测装置。
技术介绍
微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem，MEMS)是一种将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术。微机电系统的大小一般在微米(micrometer，μm)到毫米(micrometer，mm)之间。微机电系统一般是由类似于生产半导体的技术制造而成。其中，包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻与电火花加工等等。在微机电系统所处的尺寸范围中，日常的物理经验往往不再适用。举例来说，由于微机电系统的面积对体积的比例比一般日常生活中的机械系统要小得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等来的更重要。换句话说，由于尺寸比例导致的物理特性，使得微机电系统的后端电路需要更重视其噪声的影响。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种感测装置，由此降低输出信号中的噪声。本专利技术所要解决的技术问题是通过如下技术方案实现的：本专利技术提供一种感测装置，所述的感测装置包括微机电传感器、源极随耦器与放大器；源极随耦器包括第一输出模块；第一输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感测装置，其特征在于，包括：一微机电传感器，用以依据环境变化产生一输入信号；一源极随耦器，其包括一第一输出模块，该第一输出模块包括：一第一晶体管，其具有一第一端用以接收一第一参考电压，且该第一晶体管具有一第二端电性连接一第一输出端，该第一晶体管的控制端电性连接一第一电流源；以及一第二晶体管，其具有一第一端电性连接该第一晶体管的第二端，且该第二晶体管具一第二端电性连接该第一晶体管的控制端，该第二晶体管的控制端用以接收该输入信号，该第二晶体管与该第一晶体管同为P型晶体管或同为N型晶体管；以及一放大器，其具有一第一输入端电性连接该第一输出端，且该放大器具一第二输入端用以接收一共模电压，该放大器的...

【技术特征摘要】
1.一种感测装置，其特征在于，包括：一微机电传感器，用以依据环境变化产生一输入信号；一源极随耦器，其包括一第一输出模块，该第一输出模块包括：一第一晶体管，其具有一第一端用以接收一第一参考电压，且该第一晶体管具有一第二端电性连接一第一输出端，该第一晶体管的控制端电性连接一第一电流源；以及一第二晶体管，其具有一第一端电性连接该第一晶体管的第二端，且该第二晶体管具一第二端电性连接该第一晶体管的控制端，该第二晶体管的控制端用以接收该输入信号，该第二晶体管与该第一晶体管同为P型晶体管或同为N型晶体管；以及一放大器，其具有一第一输入端电性连接该第一输出端，且该放大器具一第二输入端用以接收一共模电压，该放大器的输出端关联于该第一输出端的电压电平与该共模电压的差值。2.如权利要求1所述的感测装置，其特征在于，该第一输出模块更包括一第一偏压单元，其电性连接于该第二晶体管的控制端与一第二参考电压之间。3.如权利要求2所述的感测装置，其特征在于，该第一偏压单元包括一第一二极管与一第二二极管，该第一二极管的阳极端与该第二二极管的阴极端电性连接该第二晶体管的控制端，该第一二极管的阴极端电性连接该第二二极管的阳极端，且该第一二极管的阴极端与该第二二极管的阳极端用以接收该第二参考电压。4.如权利要求3所述的感测装置，其特征在于，该第一二极管与该第二二极管为多晶硅二极管。5.如权利要求1所述的感测装置，其特征在于，该源极随耦器更包括一第二输出模块，该第二输出模块包括：一第三晶体管，其具有一第一端用以接收该第一参考电压，且该第三晶体管具有一第二端电性...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨思哲，林文琦，陈耿男，
申请(专利权)人：矽统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71