The invention discloses an insulating window film heater device, which comprises an electric insulating board set at the top of an insulating window, a bonding layer set on an electric insulating board and a film heater on the bonding layer; a film heater is fixed to a heating module through a bonding layer and an electric insulation board, and the heating module is passed through a heating module. The electric insulating board is fixed at the top of the insulation window. The film heater of the invention is fixed on the electric insulation board through the bonding layer to form the whole, and is fixed to the insulation window by the electric insulation board, which is convenient for the disassembly of the film heater, and the maintenance process of the film heater and the insulation window is simplified, and the manpower and the time cost are saved.
【技术实现步骤摘要】
ICP刻蚀机台及其绝缘窗口薄膜加热器装置和温度控制方法
本专利技术涉及一种半导体制备中的加热技术,具体涉及一种ICP刻蚀机台及其绝缘窗口薄膜加热器装置和温度控制方法。
技术介绍
如图1所示,电导耦合等离子体(InductiveCoupledPlasma,ICP)刻蚀机台的上部结构通常包含有:反应腔(chamber)170,设置于反应腔170顶部的反应腔顶盖(chamberlid)160,设置于反应腔顶盖160上的绝缘窗口(insulationwindow)150,设置于绝缘窗口150顶面的薄膜加热器(kaptonheater)140,设置于薄膜加热器140上方的RF线圈(RFcoilkit)130,设置在反应腔170顶部的外罩(housing)结构120,以及设置于外罩结构120顶部的若干冷却用风扇110,其中反应腔顶盖160、绝缘窗口150、薄膜加热器140、RF线圈130套设在外罩结构120内。其中薄膜加热器140直接粘接在绝缘窗口150上成为一体。如图2所示,为一种薄膜加热器装置,薄膜加热器140设置于绝缘窗口150上,在薄膜加热器140与绝缘窗口150之间设有粘贴层141,薄膜加热器140粘贴在粘贴层141一面,粘贴层141的另一面粘贴在绝缘窗口150上,从而使薄膜加热器140直接与绝缘窗口150成为一体。现有技术中,薄膜加热器140直接粘接于绝缘窗口150上,作为热良导体的绝缘窗口150会快速的将反应腔内部的等离子体(plasma)产生的热传递到上部被冷却用风扇110的风带走,在一定的温度控制下,需要薄膜加热器140提供更高的功率来弥补等离子体热 ...
【技术保护点】
一种绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,该装置包含:设置于绝缘窗口顶部的电绝缘板,设置于电绝缘板上的粘结层,设置在粘结层上的薄膜加热器;所述薄膜加热器通过粘结层与电绝缘板固定形成一个加热模块,加热模块通过电绝缘板固定于绝缘窗口顶部。
【技术特征摘要】
1.一种绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,该装置包含:设置于绝缘窗口顶部的电绝缘板,设置于电绝缘板上的粘结层,设置在粘结层上的薄膜加热器;所述薄膜加热器通过粘结层与电绝缘板固定形成一个加热模块,加热模块通过电绝缘板固定于绝缘窗口顶部。2.如权利要求1所述的绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,所述电绝缘板的厚度范围取1至50毫米。3.如权利要求1或2所述的绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,所述绝缘窗口薄膜加热器装置还包含一机械夹持装置,将所述加热模块固定到绝缘窗口。4.如权利要求1或2所述的绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,所述电绝缘板中还包含一个电极,连接到一个高压直流电源,使得所述加热模块静电吸附到所述绝缘窗口上。5.如权利要求1或2或3所述的绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,所述电绝缘板与绝缘窗口之间还设有导热垫片,所述导热垫片的热传导率低于绝缘窗口和电绝缘板。6.如权利要求5所述的绝缘窗口薄膜加热器装置,其特征在于,所述导热垫片由硅胶和/或陶瓷制成。7.如权利要求1所述的绝...
【专利技术属性】
技术研发人员:左涛涛,吴狄,
申请(专利权)人:中微半导体设备上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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