用于在检查对象时自适应采样的方法和其系统技术方案

检查对象，包括：接收潜在缺陷，每个潜在缺陷与位置相关联；执行潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和第二子集，聚类被执行以使得第一子集中的潜在缺陷在物理区域中比第二子集中的潜在缺陷更加密集；将第一有效概率自动分配给第一子集和第二子集中的潜在缺陷；根据第三方针并且根据用于组合来自所述合并列表的最高元素和随机选择元素的策略来进行选择以审查来自第一子集和第二子集的潜在缺陷；在审查审查的潜在缺陷之后，接收对潜在缺陷列表的部分中的潜在缺陷的指示；根据所述第一子集和第二子集中的项的有效性和分类来更新所述方针；以及利用所更新的方针重复所述分配、选择、接收和更新，直至观察到停止标准。

Method and system for adaptive sampling when inspecting objects

Check objects, including: receiving potential defects, each potential defect associated with location; executing the first cluster of potential defects to obtain the first subset and the second subset, and the clustering is executed to make the potential defects of the first subset more dense in the physical region than the potential defects of the second subsets; the first effective probability The potential defects allocated to the first subset and the second subsets; selected according to the third policy and based on the strategy used to combine the highest elements and random selection elements from the consolidated list to review the potential defects from the first subset and the second subset; after the review of the potential defects, the receiving pair is received. The indication of potential defects in the part of the list of potential defects; updating the policy according to the validity and classification of the items of the first subset and the second subsets; and repeating the allocation, selection, reception and update by using the updated policy until the stop standard is observed.

【技术实现步骤摘要】
用于在检查对象时自适应采样的方法和其系统
本文所公开的主题涉及检查对象中的位置，并且更具体地涉及待审查的对象位置的自适应采样。
技术介绍
各种对象，诸如半导体晶片、掩膜、印刷电路板、太阳能电池板、微机电器件，是通过制造工艺制造的，所述制造工艺是高度复杂且昂贵的，包括多个阶段，并且需要高度精确机器。此类对象一般称为晶片。复杂制造工艺并不是无错的，并且此类错误可以导致所制造的对象的故障或所谓的故障。故障可以包括可能损害对象的操作的缺陷、错误的阳性(positive)发现(所述发现似乎可能含有缺陷，虽然在区域处并不存在实际缺陷)、以及妨害(所述妨害可能是缺陷，但不使所制造的单元发生任何损害或故障)。除了原材料中的故障之外，人为错误和其他故障也可导致对象中的缺陷。在本说明书中使用的术语“缺陷”应被广泛地解释为涵盖任何种类的异常或在晶片上或在晶片内形成的不期望的特征。除非另外特别声明，否则在本说明书中关于晶片而使用的术语“检查”应被广泛地解释为涵盖通过使用非破坏性检验工具提供的晶片中的缺陷的任何种类的检测和/或分类。借助非限制性示例，此类检查可以包括：生成用于检查和/或其部分的一个或多个方案；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查对象的计算机化方法，所述方法包括：a.通过包括可操作地连接到存储器的处理器的计算机，接收多个潜在缺陷，所述多个潜在缺陷中的每个潜在缺陷与潜在缺陷位置相关联；b.通过所述计算机，执行所述多个潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和至少一个第二子集，所述聚类根据潜在缺陷位置之间的空间距离而被执行，使得所述第一子集中的潜在缺陷表征为：在至少一个物理区域中比所述至少一个第二子集中包括的潜在缺陷具有更高密度；c.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第一概率自动分配给所述第一子集中的潜在缺陷，所述第一概率是根据第一方针计算的；d.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第二概率自动分配给所述至少一个第二子集中的潜在...

【技术特征摘要】
2016.11.03 US 15/343,0901.一种检查对象的计算机化方法，所述方法包括：a.通过包括可操作地连接到存储器的处理器的计算机，接收多个潜在缺陷，所述多个潜在缺陷中的每个潜在缺陷与潜在缺陷位置相关联；b.通过所述计算机，执行所述多个潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和至少一个第二子集，所述聚类根据潜在缺陷位置之间的空间距离而被执行，使得所述第一子集中的潜在缺陷表征为：在至少一个物理区域中比所述至少一个第二子集中包括的潜在缺陷具有更高密度；c.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第一概率自动分配给所述第一子集中的潜在缺陷，所述第一概率是根据第一方针计算的；d.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第二概率自动分配给所述至少一个第二子集中的潜在缺陷，所述第二概率是根据第二方针计算的，所述第二方针规定如何组合至少两个第二因素；e.通过所述计算机，根据包括审查次数在内的考虑来自动进行选择和分配，以根据第三方针和策略由审查工具来审查来自所述第一子集和所述至少一个第二子集的至少一个潜在缺陷，所述第三方针规定如何将来自多个子集的潜在缺陷组合为合并列表，所述策略指示如何组合来自所述合并列表的最高元素和来自所述合并列表的随机选择元素；f.通过所述计算机，接收所述潜在缺陷列表的部分中的潜在缺陷的有效性或类别指示，所述指示在所述潜在缺陷列表的所述部分中的潜在缺陷由所述审查工具审查之后被接收；以及g.在未观察到停止标准后：i.通过所述计算机，根据所述第一子集和所述至少一个第二子集中的项的有效性或分类来更新所述第一方针、所述第二方针或所述第三方针；以及ii.通过所述计算机，根据所更新的所述第一方针、所述第二方针或所述第三方针重复步骤(c)-(g)，直至观察到所述停止标准。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述停止标准选自由以下组成的组：预定数量的潜在缺陷已由所述审查工具审查；多个表明潜在缺陷有效的指示的收敛；以及已检测到与特定缺陷类别相关联的预定数量的缺陷。3.根据权利要求1所述的方法，其中接收用于所接收的所述有效性或类别指示中的至少一个的决策置信水平。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个物理区域选自由以下组成的组：区域；在开线附近的区域；以及在闭线附近的区域。5.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：基于除几何位置之外的特性执行对所述至少一个第二子集的第二聚类。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二聚类的所述特性包括选自由以下组成的组中的至少一项：晶片在潜在缺陷的位置处的阴影或颜色；所述晶片在所述潜在缺陷的区域处的背景阴影或背景颜色；在所述潜在缺陷附近的边缘；在所述潜在缺陷附近的特征；在所述潜在缺陷附近的多边形、边缘或拐角的数量和它们的密度。7.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二聚类提供用于确定与用于所述第二聚类的特性相关的位于密集区域中的潜在缺陷，从而提供用于确定系统潜在缺陷。8.根据权利要求5所述的方法，其中关于随机潜在缺陷的所述至少两个第二因素是选自由以下组成的组：位于与用于所述第二聚类的所述特性相关的特征空间中的稀疏的区域处；位于与用于所述第二聚类的所述特性相关的特征空间中密集的区域的异常值区域处；接近已验证的潜在缺陷；以及上述中的两个或更多个的组合，从而提供用于确定随机潜在缺陷。9.根据权利要求8所述的方法，其中所述随机潜在缺陷与通过不同工具或在不同条件下进行的至少两个扫描相关联。10.根据权利要求1所述的方法，其中自动进行选择和分配以用于审查包括：根据至少一个第一概率对所述第一子集的潜在缺陷进行排序以获得第一排序列表；根据至少一个第二概率对所述至少一个第二子集中的每一个进行排序以获得至少一个第二排序列表；根据所述第三方针对来自所述第一排序列表或所述至少一个第二排序列表的潜在缺陷的优先级进行排序以形成合并列表；以及根据所述策略从所述合并列表选择待审查的潜在缺陷。11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第三方针符合选自由以下组成的组中的至少一项：从所述第一排序列表选择所需数量潜在缺陷的预定的百分比，并且与来自所述至少一个第二排序列表的潜在缺陷互补；从按概率排序的所述第一排序列表和所述至少一个第二排序列表的合并列表选择最高概率潜在缺陷；以及根据用户输入对来自所述第一排序列表或所述至少一个第二排序列表的潜在缺陷的优先级进行排序，并且选择优先级最高的潜在缺陷。12.根据权利要求10所述的方法，其中所述策略指示从所述合并列表选择的，并且与来自所述合并列表的随机选择潜在缺陷互补的最高概率潜在缺陷数量。13.根据权利要求12所述的方法，其中所述策略在迭代之间改变。14.根据权利要求12所述的方法，其中所述策略根据选自由以下组成的组中的项在迭代之间改变：相对于较早迭代而增加在后期迭代中的随机选择潜在缺陷的数量；如果在...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤塔姆·索弗，伊丹·凯泽曼，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：以色列,IL