The utility model is a micro moving platform based on a magnifying mechanism, including a displacement magnifying mechanism. The displacement amplifying mechanism includes a triangular push plate and a right angle trapezoid board on a triangular push plate. The right angle trapezoid plate includes the upper bottom and the lower bottom, the spring is held at a right angle edge of the triangular push plate and the other right angle of the triangular push plate. The upper bottom of the edge and the right angle trapezoid plate is on the same side, the angle between the inclined edge of the triangular push plate and the right angle edge of the spring is 5 degrees, 35 degrees, and the direction of the slope of the triangular push plate along the direction of the right angle trapezoid plate is provided with a slideway, and the inclined plane of the right angle trapezoid plate is equipped with a roller cooperating with the slide. The application uses a triangular push plate and a right angle trapezoid plate to achieve displacement amplification. Because the motion of both of them can calculate the distance of the right angle trapezoid plate moving through the distance of the triangle push plate, the motion of this application is more precise by setting the baffles on both sides of the right angle trapezoid plate. Control the range of the movement.
【技术实现步骤摘要】
一种基于放大机构的微动平台
本技术涉及先进制造中的微操作
,更具体地,涉及一种基于放大机构的微动平台。
技术介绍
近年来,随着科学技术和工业技术的不断进步,微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展,迫切需要能够在纳米级精度上进行定位和操作的系统和装备。在这些领域中,具有纳米精度的微动平台是其核心部件,其研究倍受国内外学者的青睐。传统的机械结构,如电机、齿轮、铰链等由于受到装配及运动间隙、摩擦、阻尼等因素的影响,无法达到纳米精度,而以压电陶瓷作为驱动器,广泛应用于具有纳米精度的微动平台。目前基于放大机构的微动平台具有传动不精密、误差大的缺陷。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术的目的是提供一种高精密的基于放大机构的微动平台。本技术的基于放大机构的微动平台,包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台,所述基座上设有两相互垂直的矩形凹槽,所述矩形凹槽内分别设有第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的一端通过螺钉固定,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的另一端抵持于一弹簧的端部,所述弹簧的内径小于所述推力球的外径,所述弹簧的另一端抵持一位移放大机构,所述位移放大机构包括一三角形推板和设于所述三角形推板上的直角梯形板,所述直角梯形板包括上底与下底,所述上底的尺寸小于所述下底的尺寸,所述弹簧抵持于所述三角形推板的一直角边,所述三角形推板的另一直角边与所述直角梯形板的上底设于同一侧,所 ...
【技术保护点】
基于放大机构的微动平台,其特征在于:包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台,所述基座上设有两相互垂直的矩形凹槽,所述矩形凹槽内分别设有第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的一端通过螺钉固定,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的另一端抵持于一弹簧的端部,所述弹簧的内径小于所述推力球的外径,所述弹簧的另一端抵持一位移放大机构,所述位移放大机构包括一三角形推板和设于所述三角形推板上的直角梯形板,所述直角梯形板包括上底与下底,所述上底的尺寸小于所述下底的尺寸,所述弹簧抵持于所述三角形推板的一直角边,所述三角形推板的另一直角边与所述直角梯形板的上底设于同一侧,所述三角形推板的斜边与所述弹簧抵持的直角边之间的夹角为5°‑35°,所述三角形推板的斜面上沿所述直角梯形板移动的方向设有滑槽,所述直角梯形板的斜面上设有与所述滑槽配合的滚轮,所述运动平台上设有分别位于所述直角梯形板的上底一侧与下底一侧的挡板。
【技术特征摘要】
1.基于放大机构的微动平台,其特征在于:包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台,所述基座上设有两相互垂直的矩形凹槽,所述矩形凹槽内分别设有第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的一端通过螺钉固定,所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的另一端抵持于一弹簧的端部,所述弹簧的内径小于所述推力球的外径,所述弹簧的另一端抵持一位移放大机构,所述位移放大机构包括一三角形推板和设于所述三角形推板上的直角梯形板,所述直角梯形板包括上底与下底,所述上底的尺寸小于所述下底的尺寸,所述弹簧抵持于所述三角形推板的一直角边,所述三角形推板的另一直角边与所述直角梯形板的上底设于同一侧,所述三角形推板的斜边与所述弹簧抵持的直角边之间的夹角为5°-35°,所述三角形推板的斜面上沿所述直角梯形板移动的方向设有滑槽,所述直角梯形板的斜面上设有与所述滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟博文,孙立宁,王振华,
申请(专利权)人:苏州迈客荣自动化技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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