【技术实现步骤摘要】
一种气缸控制的微动平台
本申请涉及一种气缸控制的微动平台。
技术介绍
具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。在超精密机床中，超精密微动工作台用于对进给系统进行误差补偿，实现超精密加工；在大规模集成电路制造中，超精密微动工作台用于光刻设备中进行微定位和微进给；在扫描探针显微镜中，超精密微动工作台用于测量样品表面形貌，进行纳米加工；在生物工程方面，超精密微动工作台用于完成对细胞的操作，实现生物操作工程化；在医疗科学方面，超精密微动工作台用于显微外科手术，以便减轻医生负担，缩短手术时间，提高成功率。超精密微动工作台还被广泛应用于光纤对接，MEMS系统加工、封装及装配，以及电化学加工等领域中。目前，市场上的微动工作台多为x、y轴的水平调平，不具有调转角度的功能，不足以满足实际工作需要。
技术实现思路
本申请要解决的技术问题是提供一种气缸控制的微动平台。为了解决上述技术问题，本申请提供了一种气缸控制的微动平台，所述的微动平台包括一安装平台、通过螺纹可旋转的连接于所述的安装平台上的微动上升柱，所述的微动上升柱上设置有一摆杆，所述的安装平台上设置有一环形滑轨，所述的摆杆上设置有一滑块，所述的滑块可滑动的设于所述的环形滑轨内，所述的微动平台还包括至少一个用于推动所述的摆杆摆动的汽缸组件。优选地，所述的微动平台还包括一底座，所述的安装平台设置在所述的底座上。优选地，所述的汽缸组件包括汽缸、被所述的汽缸驱动的活塞杆，所述的活塞杆上设置有一用于推动所述的摆动的推动头。优选地，所述的汽缸安装在所述的底座上。优选地，所述...
【技术保护点】
1.一种气缸控制的微动平台，其特征在于，所述的微动平台包括一安装平台、通过螺纹可旋转的连接于所述的安装平台上的微动上升柱，所述的微动上升柱上设置有一摆杆，所述的安装平台上设置有一环形滑轨，所述的摆杆上设置有一滑块，所述的滑块可滑动的设于所述的环形滑轨内，所述的微动平台还包括至少一个用于推动所述的摆杆摆动的汽缸组件。
【技术特征摘要】
1.一种气缸控制的微动平台，其特征在于，所述的微动平台包括一安装平台、通过螺纹可旋转的连接于所述的安装平台上的微动上升柱，所述的微动上升柱上设置有一摆杆，所述的安装平台上设置有一环形滑轨，所述的摆杆上设置有一滑块，所述的滑块可滑动的设于所述的环形滑轨内，所述的微动平台还包括至少一个用于推动所述的摆杆摆动的汽缸组件。2.如权利要求1所述的一种气缸控制的微动平台，其特征在于，所述的微动平台还包括一底座，所述的安装平台设置在所述的底座上。3.如权利要求2所述的一种气缸控制的微动平台，其特征在于，所述的汽缸组件包括汽缸、被所述的汽缸驱动的活塞杆，所述的活塞杆上设置有一用于推动所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟博文，孙立宁，王振华，
申请(专利权)人：苏州迈客荣自动化技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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