The utility model relates to a workbench device, a conveying device and a semiconductor manufacturing device, in which a workbench device (100) comprises a first part (1), which can move within a specified surface; the second part (2) can move relative to the first part; the first guide device (4) is at least one distribution. In the first part, the second part is guided to move the second part in a direction parallel to the first axis in a direction parallel to the first axis, and the first axis is orthogonal to the face; the worktable has a first part supported by a second part; and a plurality of second guiding devices (5), at least one part of the table and a plurality of worktable. The second parts are connected separately, and the worktable is guided to move the worktable in the direction parallel to the first axis, and the above second parts are configured to encircle the first part.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工作台装置、输送装置和半导体制造装置
本技术涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置。
技术介绍
在输送装置中,使用例如如专利文献1中公开的设置有能够移动的工作台的工作台装置。专利文献1:日本特开2004-195620号公报
技术实现思路
在工作台装置中,如果在需要使工作台沿目标轨道移动时,该工作台偏离目标轨道,则有可能导致设置有该工作台装置的输送装置的性能降低。例如虽然需要使工作台在铅垂方向上笔直地移动,但是如果该工作台不笔直地移动,则工作台的定位精度降低。由此,有可能无法将载置于该工作台上的物体配置于期望的位置。本技术的目的在于提供一种能够使工作台沿目标轨道移动的工作台装置。此外,本技术的目的在于提供一种能够抑制性能降低的输送装置。本技术的第一形态,提供一种工作台装置,其包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于上述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于上述第一部件,引导上述第二部件以使上述第二部件通过上述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,上述第一轴与上述规定面正交;工作台,其具有由上述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与上述工作台的多个第二部分分别连接,引导上述工作台以使述工作台在与上述第一轴平行的方向上移动,上述多个第二部分以包围上述第一部分的方式配置。根据本技术的第一形态,由于以包围第二部件的方式设置多个第二导向装置,能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。第二导向装置在与第一轴平行的方向上对工作台进行引导。因此,工作台能够在与第一轴平行的方向上笔直地移动。由此,能够抑制工作台的定位精度的降 ...
【技术保护点】
1.一种工作台装置,其特征在于,包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于所述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于所述第一部件,引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,所述第一轴与所述规定面正交;工作台,其具有由所述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接,引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动,所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,在所述规定面内所述工作台呈矩形,所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接,四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.02.17 JP 2014-0277141.一种工作台装置,其特征在于,包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于所述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于所述第一部件,引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,所述第一轴与所述规定面正交;工作台,其具有由所述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接,引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动,所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,在所述规定面内所述工作台呈矩形,所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接,四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。2.根据权利要求1所述的工作台装置,其特征在于:所述第一部分在所述规定面内包含所述工作台的中央部,所述第二部分在所述规定面内配置于所述工作台的边缘部。3.根据权利要求1所述的工作台装置,其特征在于:所述第一部分包含所述工作台的所述重心,所述第一部分与规定于...
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