The utility model discloses a micro moving platform, including a base seat, a slot arranged on the base, which divides the base into a moving body and a fixed body. The through slot includes a X to a slot and a Y slot enclosed by the X through the slot, the base seat is provided with a first groove and a second groove extending along the X, and along the Y direction. An extended third groove and a fourth groove are provided with a piezoelectric ceramic driver in the first grooves and the third grooves, and the second grooves and the fourth grooves are provided with a trimming thread pair driving component, and the trimming thread accessory components include a trimming thread pair, a flexible hinge mechanism, a folding shrapnel and a guiding mechanism. The mechanism comprises a guide groove and a guide block which is arranged in the guide groove, and the positioning block is arranged on the guide block. The utility model has at least the following advantages: small precision displacement output can be realized, the structure is optimized and the accuracy is high.
【技术实现步骤摘要】
一种微动平台
本技术涉及一种微位移机构,尤其涉及一种微动平台。
技术介绍
近年来,随着科学技术和工业技术的不断进步,微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展,迫切需要能够在纳米及精度上进行定位和操作的系统和装备。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种微动平台,其能够实现较小的精密位移输出,结构优化,精准度高。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种微动平台,包括基座、所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽,所述通槽将所述基座分为运动体和固定体,所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽,所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽和第二凹槽,所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽和第四凹槽,所述第一凹槽和第三凹槽内设有压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器的两端设置有推力半球,所述第二凹槽和所述第四凹槽内设有微调螺纹副驱动组件,所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体上的微调螺纹副、与所述运动体铰接的柔性铰链机构、分别作用于所述微调螺纹副和柔性铰链机构的折叠弹片及用于导向所述折叠弹片的导向机构,所述导向机构包括设置在所述固定体上的导向槽、滚动设置在所述导向槽内的导向块,所述导向块上设置有嵌设所述折叠弹片的定位槽。进一步地,各所述凹槽内还设置有用于检测运动体产生位移的直线光栅。进一步地,所述X向通槽与所述Y向通槽间隔设置,所述X向通槽包括一组开口相对设置的第一U型槽和第二U型槽,所述Y向通槽包括开口相对设置的第三U型槽和第四U型槽。进一步地,各所述U型槽均包括一横部和竖部,所述竖部 ...
【技术保护点】
1.一种微动平台,包括基座、其特征在于,所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽,所述通槽将所述基座分为运动体和固定体,所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽,所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽和第二凹槽,所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽和第四凹槽,所述第一凹槽和第三凹槽内设有压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器的两端设置有推力半球,所述第二凹槽和所述第四凹槽内设有微调螺纹副驱动组件,所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体上的微调螺纹副、与所述运动体铰接的柔性铰链机构、分别作用于所述微调螺纹副和柔性铰链机构的折叠弹片及用于导向所述折叠弹片的导向机构,所述导向机构包括设置在所述固定体上的导向槽、滚动设置在所述导向槽内的导向块,所述导向块上设置有嵌设所述折叠弹片的定位槽。
【技术特征摘要】
1.一种微动平台,包括基座、其特征在于,所述基座上设置有穿过所述基座的上表面和下表面的通槽,所述通槽将所述基座分为运动体和固定体,所述通槽包括X向通槽、将所述X向通槽围合的Y向通槽,所述基座的第一相对两边上设置有沿X向延伸的第一凹槽和第二凹槽,所述基座的第二相对两边上设置有沿Y向延伸的第三凹槽和第四凹槽,所述第一凹槽和第三凹槽内设有压电陶瓷驱动器,所述压电陶瓷驱动器的两端设置有推力半球,所述第二凹槽和所述第四凹槽内设有微调螺纹副驱动组件,所述微调螺纹副组件包括设置在所述固定体上的微调螺纹副、与所述运动体铰接的柔性铰链机构、分别作用于所述微调螺纹副和柔性铰链机构的折叠弹片及用于导向所述折叠弹片的导向机构,所述导向机构包括设置在所述固定体上的导向槽、滚动设置在所述导向槽内的导向块,所述导向块上设置有嵌设所述折叠弹片的定位槽。2.如权利要求1所述的微动平台,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟博文,孙立宁,王振华,
申请(专利权)人:苏州迈客荣自动化技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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