一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路制造技术

一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头、一个喷水头、若干直接头和若干三通接头组合而成，各部件之间通过相互配合的球面凸接头球面凹接头形成可拆卸转动连接。本实用新型专利技术不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化。

Silicon wafer spray pipe used in production of monocrystalline silicon wafer

A silicon sprinkler line used in the production of monocrystalline silicon wafer, which is composed of a threaded joint, a water jet head, a number of direct heads and a number of three joint joints, and a detachable rotating connection is formed between the components through a spherical convex joint with a spherical concave joint. The utility model does not need a mounting bracket, which is made up of a threaded joint, a water sprinkler head, a number of direct heads and a number of three connection joints according to the needs, and is fixed to the required position of the equipment. The length of the pipeline is adjusted by adding or reducing the direct head and the three connection joint, and the spherical convex of each part is matched by each other. The joint is connected with the spherical concave joint, so that the water spraying direction can be adjusted at will, and the automation of water spraying is easy to realize.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路
本技术涉及到单晶硅抛光片生产领域，具体的说是一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路。
技术介绍
单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机、卸片台、传送台是生产抛光片不可或缺的主要设备之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生产的SPM型抛光机、DMS卸片台和传送台、BBS公司生产的边抛机在目前国内的单晶硅抛光片制造厂商中得到广泛使用。SPM抛光机在工作时为了防止抛光液在压头结晶，需要对压头进行喷水；DMS卸片台的作用是把粘在陶瓷板上的硅片用卸片刀卸到片盒里，由于硅片的特性，从传送台到卸片台都需要对硅片和陶瓷板喷淋纯水，以保证硅片或陶瓷板的湿润；BBS边抛机对片子边缘进行抛光，设备有多个工位台子，每个工位台子加工完后都需要机械臂来移动片子，为了保持片子的湿润和洁净，需要多次对片子进行喷水。传统的喷水方法主要有如下几种：（1）水枪喷水，在设备相关部位加装水枪，需要喷水时有操作人员拿起手持水枪对需要喷水的部位进行喷水，缺点是不能实行自动化，人为因素影响较大；（2）在需要喷水的位置安装支杆，在支杆上安装喷嘴，优点是便于实现自动化，缺点是由于支架位置固定，不便于根据现场需要对喷水方向调整。
技术实现思路
为解决现有单晶硅片生产中所用到的喷水管路存在的上述问题，本技术提供了一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，本喷水管路不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化。本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头、一个喷水头、若干直接头和若干三通接头组合而成，其中，螺纹接头的一端具有与标准管路连接的螺纹套管，另一端具有球面凸接头，直接头的两端分别具有球面凸接头和球面凹接头，三通接头的三个接口上分别与一个球面凹接头和两个球面凸接头连接，喷水头为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头连接，在空心圆锥上设置有喷水板，喷水板上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔；所述螺纹接头上的球面凸接头、直接头上的球面凸接头和三通接头上的球面凸接头结构和大小均相同，所述直接头上的球面凹接头、三通接头上的球面凹接头和喷水头上的球面凹接头结构和大小均相同，且每一个球面凸接头均可插入任意一个球面凹接头内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。本技术中，所述球面凸接头为具有贯通中空腔的球状或大于半球状的弧形体结构。本技术中，所述球面凹接头内部具有容纳球面凸接头外表面的弧形腔，且该弧形腔的开口处形成弧形内缩，以使其开口小于内部，形成卡住球面凸接头的缩口。本技术中，所述三通接头上通过加强筋设置有固定管，固定管通过与固定螺丝的配合实现三通接头的固定。本技术中，所述喷水板与喷水头的空心圆锥轴向平行，且设置在空心圆锥的中心位置。本技术中，所述螺纹接头、喷水头、直接头和三通接头选用工程塑料制成，球面凸接头与球面凹接头之间形成过盈配合。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1）本技术不需要安装支架，通过螺纹接头、喷水头、若干直接头和若干三通接头根据需要组合连接而成，并将其固定安装在设备需要的位置，通过增减直接头和三通接头来调节管路的长短，各部件之间通过互相配合的球面凸接头与球面凹接头连接，从而使得其喷水方向能够根据需要随意调节，便于实现喷水的自动化；2）本技术的直接头可以来连接直接头、三通接头和喷水头，直接头连的越多管子越长；三通接头可以根据需要来对管路进行分支；喷水头和直接头相连，对需要喷水的位置进行喷水，由于各部件（螺纹接头、喷水头、直接头和三通接头）之间的连接处采用球面设计的球面凸接头与球面凹接头，在需要连接时，只需要将球面凸接头与球面凹接头对接，用手按压一下将球面凸接头插入球面凹接头内即可连接；拆装时，用手一拉就可拆开，十分方便；而且由于连接处采用了球面设计，不但管件拆装方便，而且连好的管子可以随意弯曲，根据需要调整喷头喷水的方向；3）本技术通过螺纹接头一端的螺纹套管和设备的标准纯水管路接头进行连接，通过螺纹接头另一端的球面凸接头和直接头的球面凹接头相连，直接头的球面凸接头和三通接头的球面凹接头相连（根据需要），喷水头的球面凹接头和直接头或三通接头的球面凸接头相连，从而连接好管件，最后再将连好的管件安装到SPM抛光机的压头喷水处，DMS卸片台陶瓷盘和硅片喷水处，BBS边抛机的硅片喷水处，可以实现全自动化喷水；喷水过程可根据需要适时调整喷水头喷水的角度，让纯水精确地喷到需要喷水的地方，调好后不需要人工参与，方便性、实用性和安全性能好，并且拆装十分方便。附图说明图1为本技术螺纹接头的结构示意图；图2为本技术直接头的结构示意图；图3为本技术三通接头的结构示意图；图4为图3中A-A面的剖视图；图5为本技术喷水头的结构示意图；图6为图5的俯视图；图7为图6中B-B面的剖视图；图8为螺纹接头与两个直接头的配合连接示意图；附图标记：1、螺纹接头，2、直接头，3、三通接头，301、固定管，302、加强筋，4、喷水头，5、螺纹套管，6、球面凸接头，7、球面凹接头，8、喷水板，801、喷水孔。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的以及有益效果易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图所示，一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，该管路由一个螺纹接头1、一个喷水头4、若干直接头2和若干三通接头3组合而成，其中，螺纹接头1的一端具有与标准管路连接的螺纹套管5，另一端具有球面凸接头6，直接头2的两端分别具有球面凸接头6和球面凹接头7，三通接头3的三个接口上分别与一个球面凹接头7和两个球面凸接头6连接，喷水头4为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头7连接，在空心圆锥上设置有喷水板8，喷水板8上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔801；所述螺纹接头1上的球面凸接头6、直接头2上的球面凸接头6和三通接头3上的球面凸接头6结构和大小均相同，所述直接头2上的球面凹接头7、三通接头3上的球面凹接头7和喷水头4上的球面凹接头7结构和大小均相同，且每一个球面凸接头6均可插入任意一个球面凹接头7内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。以上为本技术的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：如，所述球面凸接头6为具有贯通中空腔的球状或大于半球状的弧形体结构（所述大于半球状的弧形体结构是指，具有一个贯通的中心孔的球状体被切除一部分后所形成的具有一个与中心孔垂直平面的弧形体，而且被切除后形成的垂直平面要小于球状体的半径围绕球心旋转所形成的平面），贯通的中空腔以及各部件内的腔室连接起来形成供水通道；又如，所述球面凹接头7内部具有容纳球面凸接头6外表面的弧形腔，且该弧形腔的开口处形成弧形内缩，以使其开口小于内部，形成卡住球面凸接头6的缩口；再如，所述三通接头3上通过加强筋302设置有固定管301，固定管301通过与固定螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：该管路由一个螺纹接头（1）、一个喷水头（4）、若干直接头（2）和若干三通接头（3）组合而成，其中，螺纹接头（1）的一端具有与标准管路连接的螺纹套管（5），另一端具有球面凸接头（6），直接头（2）的两端分别具有球面凸接头（6）和球面凹接头（7），三通接头（3）的三个接口上分别与一个球面凹接头（7）和两个球面凸接头（6）连接，喷水头（4）为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头（7）连接，在空心圆锥上设置有喷水板（8），喷水板（8）上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔（801）；所述螺纹接头（1）上的球面凸接头（6）、直接头（2）上的球面凸接头（6）和三通接头（3）上的球面凸接头（6）结构和大小均相同，所述直接头（2）上的球面凹接头（7）、三通接头（3）上的球面凹接头（7）和喷水头（4）上的球面凹接头（7）结构和大小均相同，且每一个球面凸接头（6）均可插入任意一个球面凹接头（7）内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片生产中用的硅片喷水管路，其特征在于：该管路由一个螺纹接头（1）、一个喷水头（4）、若干直接头（2）和若干三通接头（3）组合而成，其中，螺纹接头（1）的一端具有与标准管路连接的螺纹套管（5），另一端具有球面凸接头（6），直接头（2）的两端分别具有球面凸接头（6）和球面凹接头（7），三通接头（3）的三个接口上分别与一个球面凹接头（7）和两个球面凸接头（6）连接，喷水头（4）为空心圆锥结构，且空心圆锥的底部与一球面凹接头（7）连接，在空心圆锥上设置有喷水板（8），喷水板（8）上分布有若干与空心圆锥内部的空腔连通的喷水孔（801）；所述螺纹接头（1）上的球面凸接头（6）、直接头（2）上的球面凸接头（6）和三通接头（3）上的球面凸接头（6）结构和大小均相同，所述直接头（2）上的球面凹接头（7）、三通接头（3）上的球面凹接头（7）和喷水头（4）上的球面凹接头（7）结构和大小均相同，且每一个球面凸接头（6）均可插入任意一个球面凹接头（7）内，以使两者形成转动连接从而将不同的部件组合连接。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：郭光灿，范强，马龙峰，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41