一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机技术方案

本实用新型专利技术提供一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机，电子枪发射基座，包括：第一、第二电极阴极；安装于第一、第二电极阴极之间的中间绝缘片；分别与第一、第二电极阴极连接、且外侧设有第一、第二凹槽的第一、第二电极阳极，其中，第一、第二电极阳极内侧之间设有第一间距；分别安装于第一、第二凹槽内的第一、第二压片，第一、第二压片上设有一贯穿其上下表面的第一、第二灯丝卡槽；分别安装于第一、第二电极阳极下表面的第一、第二发射板；安装于第一、第二电极阳极上表面的阳极罩座；以及安装于阳极罩座上的阳极罩。通过本实用新型专利技术解决了现有电子枪发射基座因灯丝卡槽设计于基座主体上，在使用过程中容易造成基座主体损坏，使得生产成本增加及生产效率降低的问题。

An electronic gun launching base, an electron gun launching system and an evaporating machine.

The utility model provides an electronic gun launching base, an electronic gun launching system and a steaming machine, and an electronic gun launching base, including the first and second electrode cathodes; an intermediate insulator mounted between the first and second electrode cathodes; the first and second electrode cathodes are connected, and the outside is provided with a first and second grooves on the outside. The first and second electrode anodes, in which the first and second electrode anodes have the first space between the first and the second, are respectively installed in the first and second grooves, and the first and second pieces are equipped with the first and second filament grooves that always wear the upper and lower surfaces; the separation is installed on the first and second electrode anodes. The first and second transmitting plates are arranged on the surface; the anode cover seat is installed on the upper surface of the first and the second electrode anode; and the anode cover is arranged on the anode cover seat. Through the utility model, the existing electronic gun launching base is designed on the base body because of the filament groove. In the process of use, the base seat main body is easily damaged, and the production cost is increased and the production efficiency is reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机
本技术涉及半导体设备领域，特别是涉及一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机。
技术介绍
在真空环境中，将材料加热并镀到工件或基片上称为真空蒸镀，或真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。蒸镀是通过蒸镀机进行的，而现有蒸镀机装配的电子枪发射基座在使用过程中存在以下缺陷：电子枪发射基座上安装灯丝的灯丝卡槽设置于基座主体的电极阳极上，在实际使用中，由于灯丝卡槽与灯丝为接触面，形成接触电阻，在工作中因电阻热效应产生局部高温，形成氧化层，损坏甚至报废整个基座主体，导致电路异常，以致需要更换新的基座主体，使得每个基座主体的平均使用寿命约为30天；这不仅增加了生产成本，而且还降低了生产效率。鉴于此，有必要设计一种新的电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机用以解决上述技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机，解决了现有电子枪发射基座因灯丝卡槽设计于基座主体上，在使用过程中容易造成基座主体损坏，使得生产成本增加及生产效率降低的问题。为实现上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子枪发射基座，其特征在于，所述电子枪发射基座包括：第一电极阴极；第二电极阴极；安装于所述第一电极阴极和所述第二电极阴极之间的中间绝缘片；与所述第一电极阴极连接、且外侧设有第一凹槽的第一电极阳极；与所述第二电极阴极连接、且外侧设有第二凹槽的第二电极阳极，其中，所述第一电极阳极内侧与所述第二电极阳极内侧之间设有第一间距；安装于所述第一凹槽内的第一压片，其中，所述第一压片上设有一贯穿所述第一压片上表面及下表面的第一灯丝卡槽；安装于所述第二凹槽内的第二压片，其中，所述第二压片上设有一贯穿所述第二压片上表面及下表面的第二灯丝卡槽；安装于所述第一电极阳极下表面的第一发射板；安装于所述第二电极阳极下表...

【技术特征摘要】
1.一种电子枪发射基座，其特征在于，所述电子枪发射基座包括：第一电极阴极；第二电极阴极；安装于所述第一电极阴极和所述第二电极阴极之间的中间绝缘片；与所述第一电极阴极连接、且外侧设有第一凹槽的第一电极阳极；与所述第二电极阴极连接、且外侧设有第二凹槽的第二电极阳极，其中，所述第一电极阳极内侧与所述第二电极阳极内侧之间设有第一间距；安装于所述第一凹槽内的第一压片，其中，所述第一压片上设有一贯穿所述第一压片上表面及下表面的第一灯丝卡槽；安装于所述第二凹槽内的第二压片，其中，所述第二压片上设有一贯穿所述第二压片上表面及下表面的第二灯丝卡槽；安装于所述第一电极阳极下表面的第一发射板；安装于所述第二电极阳极下表面的第二发射板；安装于所述第一电极阳极及所述第二电极阳极上表面的阳极罩座；以及安装于所述阳极罩座上的阳极罩。2.根据权利要求1所述的电子枪发射基座，其特征在于，所述中间绝缘片通过第一固定件安装于所述第一电极阴极和所述第二电极阴极之间；所述第一压片通过第二固定件安装于所述第一凹槽内，所述第二压片通过第三固定件安装于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：周尧，黄煜，
申请(专利权)人：中航重庆微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50