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本实用新型提供一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机,电子枪发射基座,包括:第一、第二电极阴极;安装于第一、第二电极阴极之间的中间绝缘片;分别与第一、第二电极阴极连接、且外侧设有第一、第二凹槽的第一、第二电极阳极,其中,第一、第二电极阳...该专利属于中航(重庆)微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中航(重庆)微电子有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种电子枪发射基座、电子枪发射系统及蒸镀机,电子枪发射基座,包括:第一、第二电极阴极;安装于第一、第二电极阴极之间的中间绝缘片;分别与第一、第二电极阴极连接、且外侧设有第一、第二凹槽的第一、第二电极阳极,其中,第一、第二电极阳...