一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法技术

本发明专利技术涉及一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法，步骤如下：准备聚四氟乙烯基底、紫铜片和多孔聚碳酸酯模板；工作电极的制备；涂覆光刻胶；曝光与显影；配制酸性电解液；多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿；钴纳米线及钴基底的制备；纳米线及钴基底的转移；移除紫铜片及洗除多孔聚碳酸酯模板；与聚四氟乙烯基底组合：在形成一侧的聚四氟乙烯基板与钴纳米线阵列后，另一侧的制备方式相同，构成基于聚四氟乙烯基板的双面钴纳米线阵列；经过切割，获得磁性微纳米机器人。

A graphical bionic magnetic micro nano robot preparation method

The invention relates to a preparation method of a graphical biomimetic magnetic micro nano robot. The steps are as follows: preparing polytetrafluoroethylene base, copper sheet and porous polycarbonate template; preparation of working electrode; coating photoresist; exposure and development; preparation of acid electrolyte; pore wetting of porous polycarbonates; cobalt nanowires. And the preparation of cobalt base; transfer of nanowire and cobalt base; removal of copper sheet and removal of porous polycarbonate template; combined with polytetrafluoroethylene base: after the formation of a polytetrafluoroethylene substrate and a cobalt nanowire array on one side, the preparation of the other side is the same, and the double side cobalt nanowire array based on the polytetrafluoroethylene substrate is formed. The magnetic micro nano robot is obtained after cutting.

【技术实现步骤摘要】
一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法
该专利技术涉及微纳机器人领域，尤其涉及磁场驱动的仿生磁性微米机器人领域。
技术介绍
微纳米机器人指的是尺度在微纳米级别(几纳米至几百微米)的小型机器人，在生物医学和环境保护等领域有非常重要的潜在应用，例如可用于微创外科手术、靶向治疗、细胞操作、重金属检测、污染物降解等，因此受到国内外研究者的广泛关注，近年来发展迅速。相比于传统的大型机器人，微纳米机器人的工作环境位于雷诺系数很低的环境中，物体可看作在一个非常粘滞、微小以及缓慢的环境中运动，粘滞力占主导作用，惯性力则可忽略不计。在这种条件下，若想驱动微纳米机器人，必须源源不断地为其提供动力。但由于其微小的尺寸，动力源如电池、发动机等很难装载在微纳米机器人中，因此，各种各样的微纳米机器人驱动方式被提出，包括自驱动(自电泳驱动、自扩散泳驱动、自热泳驱动、气泡驱动等方式)和外场驱动(磁场、声场和光驱动)。由于磁场驱动方式磁场强度较低，并且低频率磁场能够穿透生物组织且对生物体无害，成为微纳米机器人领域的最有前景的驱动方式之一。因此，如何制备在较低雷诺系数环境下，易于被外部磁场驱动和控制的微纳米机器人的成为了研究者们研究的重点。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以在低雷诺系数环境下易于被外部磁场驱动和控制的图形化微纳米机器人，并给出此种机器人的制备方法。本专利技术的方案思路来源为对单细胞生物草履虫运动原理的研究。技术方案如下：一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法，制备步骤如下：(1)准备聚四氟乙烯基底、紫铜片和多孔聚碳酸酯模板。(2)工作电极的制备：将适量的武德合金加热熔化后，在紫铜片上涂覆均匀，然后将多孔聚碳酸酯模板覆于武德合金上表面；利用环氧树脂胶涂覆紫铜片背面及侧面，保证钴离子只能在多孔聚碳酸酯模板孔洞中沉积；取一根导线，一端连接紫铜片背面，另一端连接电极夹，制成工作电极；(3)涂覆光刻胶：在多孔聚碳酸酯模板上表面涂覆适量光刻胶，将所述多孔聚碳酸酯模板置于匀胶机中，使其均匀涂覆光刻胶。(4)曝光与显影：利用紫外光透过掩膜版照射已经涂覆光刻胶的多孔聚碳酸酯模板，照射过的光刻胶发生光化学反应，性质发生了变化，显影时会和显影液发生化学反应并去除；而被光刻版挡住的部分，未发生任何变化，显影时不和显影液发生反应被保留,这样光刻版的图形通过显影就能将图形留在多孔聚碳酸酯模板上。(5)配制酸性电解液：电解液包括：CoSO47H2O与H3BO3，摩尔浓度范围分别为0.60-0.66M/L和0.62-0.68M/L，并将pH值调节到2.5-3.5。(6)多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿：将图形化的多孔聚碳酸酯模板置于电解液中，使所述电解液中的钴离子进入多孔聚碳酸酯模板孔洞之中。(7)钴纳米线及钴基底的制备：将铂片对电极和工作电极置于电解液中，两电极连接至电源，通过监测沉积电流的变化情况得知钴纳米线的沉积情况，当钴纳米线已经溢出多孔聚碳酸酯模板孔洞开始沉积，并相互之间连接形成所述钴基底后，继续沉积直到钴基底厚度达到5微米后停止沉积。(8)纳米线及钴基底的转移：将沉积完成后的钴纳米线及钴基底从电解液中取出，低温烘干后，将钴基底一侧涂覆少量导电银浆，将所述聚四氟乙烯基板置于导电银浆上方，在常温下放置使得钴基底与聚四氟乙烯基板连接牢固，获得中间组合结构。(9)移除紫铜片及洗除多孔聚碳酸酯模板：对上述中间组合结构进行水浴70℃加热，直至覆有武德合金的紫铜片脱落，获得最终组合结构，将所述最终组合结构置于二氯甲烷溶液中，洗除多孔聚碳酸酯模板，获得所述钴纳米线、所述钴基底、所述导电银浆和所述聚四氟乙烯基板连为的一体结构，从而形成一侧的聚四氟乙烯基板与钴纳米线阵列。(10)与聚四氟乙烯基底组合：在形成一侧的聚四氟乙烯基板与钴纳米线阵列后，另一侧的制备方式相同，构成基于聚四氟乙烯基板的双面钴纳米线阵列。(11)经过切割，获得磁性微纳米机器人。与现有技术相比，该微纳米机器人纳米线阵列的分布方式可调，避免了利用模板法制备纳米线阵列时密度过大，造成纳米线之前相互制约的问题。此种微纳米机器人在低雷诺系数环境下易于被外部电磁场驱动和控制，拓展了微纳米机器人在生物医学和环境保护领域的应用范围。附图说明为了使本专利技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术作进一步的详细说明，其中：图1为本专利技术的结构示意图；图2为单细胞生物草履虫纤毛示意图。附图标记：101-钴基底；102-导电银浆；103-聚四氟乙烯基底；104-钴纳米线；201-草履虫纤毛；202-草履虫身体。具体实施方式本专利技术提供一种可以在低雷诺系数环境下，易于被外部磁场驱动和控制的微纳米机器人及其制备方法，包括步骤：(1)聚四氟乙烯基底和紫铜片基底的清洗：在使用前需要依次采用200mL去离子水、100mL丙酮、100mL无水乙醇和200mL去离子水对聚四氟乙烯基底(边长20mm)和紫铜片基底(边长20mm)进行清洗，之后在30℃低温烘干备用。(2)工作电极的制备：将适量的武德合金(熔点70℃)置于紫铜片上，共同放入烘箱中加热到其熔点(70℃)，继续在此温度环境下，利用石英玻璃边缘将武德合金涂覆均匀，然后将多孔聚碳酸酯模板(圆形，孔径200nm，直径19mm)覆于武德合金上表面，同时保证所述多孔聚碳酸酯模板与所述武德合金有良好的接触，多孔聚碳酸酯模板的下表面可以被武德合金全部覆盖。取一根细铜线(直径0.8mm)，一端连接紫铜片背面，另一端连接电极夹。利用环氧树脂胶涂覆紫铜片背面及侧面，保证钴离子只能在多孔聚碳酸酯模板孔洞中沉积。(3)涂覆光刻胶：在上述工作电极上表面(即聚碳酸酯模板上表面)涂覆适量光刻胶SU-8，将所述工作电极置于匀胶机中，转速为3000-4000转/分。(4)曝光与显影：利用紫外光透过掩膜版照射已经涂覆光刻胶的工作电极，照射过的光刻胶发生光化学反应，性质发生了变化，显影时就会和显影液发生化学反应并去除；而被光刻版挡住的部分，未发生任何变化，显影时不和显影液发生反应被保留在圆片上,这样光刻版的图形就转移到圆片表面，通过显影就能将图形留在圆片上。(5)多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿：将工作电极置于所述石英电解槽的电解液中，利用磁力搅拌仪对电解液进行搅拌3min，使所述电解液中的钴离子进入多孔聚碳酸酯模板孔洞之中。(6)钴纳米线104及钴基底101的制备：电解液的组成为：0.63M/L的CoSO47H2O与0.65M/L的H3BO3，同时利用H2SO4调节溶液pH＝3。两电极体系是将铂片对电极和工作电极置于石英电解槽电解液中，两电极连接至电源，电源可以提供“正弦交流+恒压直流偏置”、“恒压直流”和“脉冲直流”等输出模式。利用数字多用表以监测沉积电流的变化情况，当钴纳米线在孔洞中沉积完成后，会继续在所述多孔聚碳酸酯模板上表面沉积，此时沉积电流会出现跃升。因此从沉积电流的变化情况可以得知纳米线的沉积情况。当钴纳米线104已经溢出所述多孔聚碳酸酯模板孔洞开始沉积，并相互之间连接形成所述钴基底101后，继续沉积直到钴基底101厚度达到5微米后停止沉积。(7)纳米线104及钴基底101的转移：将沉积完成后的钴纳米线104及钴基底101从电解液中取出，低温烘干后，将钴基底101一侧涂覆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法，制备步骤如下：(1)准备聚四氟乙烯基底、紫铜片和多孔聚碳酸酯模板。(2)工作电极的制备：将适量的武德合金加热熔化后，在紫铜片上涂覆均匀，然后将多孔聚碳酸酯模板覆于武德合金上表面；利用环氧树脂胶涂覆紫铜片背面及侧面，保证钴离子只能在多孔聚碳酸酯模板孔洞中沉积；取一根导线，一端连接紫铜片背面，另一端连接电极夹，制成工作电极；(3)涂覆光刻胶：在多孔聚碳酸酯模板上表面涂覆适量光刻胶，将所述多孔聚碳酸酯模板置于匀胶机中，使其均匀涂覆光刻胶；(4)曝光与显影：利用紫外光透过掩膜版照射已经涂覆光刻胶的多孔聚碳酸酯模板，照射过的光刻胶发生光化学反应，性质发生了变化，显影时会和显影液发生化学反应并去除；而被光刻版挡住的部分，未发生任何变化，显影时不和显影液发生反应被保留,这样光刻版的图形通过显影就能将图形留在多孔聚碳酸酯模板上；(5)配制酸性电解液：电解液包括：CoSO4 7H2O与H3BO3，摩尔浓度范围分别为0.60‑0.66M/L和0.62‑0.68M/L，并将pH值调节到2.5‑3.5；(6)多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿：将图形化的多孔聚碳酸酯模板置于电解液中，使所述电解液中的钴离子进入多孔聚碳酸酯模板孔洞之中；(7)钴纳米线及钴基底的制备：将铂片对电极和工作电极置于电解液中，两电极连接至电源，通过监测沉积电流的变化情况得知钴纳米线的沉积情况，当钴纳米线已经溢出多孔聚碳酸酯模板孔洞开始沉积，并相互之间连接形成所述钴基底后，继续沉积直到钴基底厚度达到5微米后停止沉积；(8)纳米线及钴基底的转移：将沉积完成后的钴纳米线及钴基底从电解液中取出，低温烘干后，将钴基底一侧涂覆少量导电银浆，将所述聚四氟乙烯基板置于导电银浆上方，在常温下放置使得钴基底与聚四氟乙烯基板连接牢固，获得中间组合结构；(9)移除紫铜片及洗除多孔聚碳酸酯模板：对上述中间组合结构进行水浴70℃加热，直至覆有武德合金的紫铜片脱落，获得最终组合结构，将所述最终组合结构置于二氯甲烷溶液中，洗除多孔聚碳酸酯模板，获得所述钴纳米线、所述钴基底、所述导电银浆和所述聚四氟乙烯基板连为的一体结构，从而形成一侧的聚四氟乙烯基板与钴纳米线阵列；(10)与聚四氟乙烯基底组合：在形成一侧的聚四氟乙烯基板与钴纳米线阵列后，另一侧的制备方式相同，构成基于聚四氟乙烯基板的双面钴纳米线阵列；(11)经过切割，获得磁性微纳米机器人。...

【技术特征摘要】
1.一种图形化仿生磁性微纳米机器人制备方法，制备步骤如下：(1)准备聚四氟乙烯基底、紫铜片和多孔聚碳酸酯模板。(2)工作电极的制备：将适量的武德合金加热熔化后，在紫铜片上涂覆均匀，然后将多孔聚碳酸酯模板覆于武德合金上表面；利用环氧树脂胶涂覆紫铜片背面及侧面，保证钴离子只能在多孔聚碳酸酯模板孔洞中沉积；取一根导线，一端连接紫铜片背面，另一端连接电极夹，制成工作电极；(3)涂覆光刻胶：在多孔聚碳酸酯模板上表面涂覆适量光刻胶，将所述多孔聚碳酸酯模板置于匀胶机中，使其均匀涂覆光刻胶；(4)曝光与显影：利用紫外光透过掩膜版照射已经涂覆光刻胶的多孔聚碳酸酯模板，照射过的光刻胶发生光化学反应，性质发生了变化，显影时会和显影液发生化学反应并去除；而被光刻版挡住的部分，未发生任何变化，显影时不和显影液发生反应被保留,这样光刻版的图形通过显影就能将图形留在多孔聚碳酸酯模板上；(5)配制酸性电解液：电解液包括：CoSO47H2O与H3BO3，摩尔浓度范围分别为0.60-0.66M/L和0.62-0.68M/L，并将pH值调节到2.5-3.5；(6)多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿：将图形化的多孔聚碳酸酯模板置于电解液中，使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹强，苏奇，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津,12