一种高精度直写曝光镜头制造技术

本实用新型专利技术提供了一种高精度直写曝光镜头，属于曝光设备领域，其包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容纳下曝光镜头的下腔，内沿上设有用于将方形光斑缩小为圆形光斑的MLA微透镜。与现有技术相比，该高精度直写曝光镜头利用MLA微透镜突破DMD像素尺寸对光斑大小的局限，将曝光面上的方形光斑变为尺寸更小的圆形光斑，且不改变曝光幅面大小，从而在曝光范围不变的情况下曝光出更精细的线条。

A high precision direct - write exposure lens

The utility model provides a high precision direct writing exposure lens, which belongs to the field of exposure equipment, which includes an upper exposure lens, a lower exposure lens and a connecting piece connecting the upper and lower exposure lenses. The upper exposure lens is connected with a beam shaping lens, a DMD chip is provided at the top of the upper exposure lens, and the connector includes a connecting tube and a connecting tube. The inner edge is provided with an inner edge, which is divided into an upper chamber for holding an exposure lens and a lower cavity for holding an exposure lens. The inner edge is provided with a MLA microlens for narrowing the square spot to a circular spot. Compared with the existing technology, the high precision direct writing exposure lens uses the MLA microlens to break through the limitation of the DMD pixel size to the size of the spot, and changes the square spot on the exposure surface to a smaller round spot, and does not change the size of the exposure amplitude, thus exposing more fine lines under the same exposure range.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度直写曝光镜头
本技术涉及曝光设备领域，特别是一种高精度直写曝光镜头。
技术介绍
LDI是LaserDirectorImaging（激光直接成像）的缩写，指的是利用新型技术直接将客户所需之影像资料通过光的方式扫描到板面上，较之前传统曝光机（需要将影像资料事先画在D/F上）有技术的进步。市场上直写曝光设备的解析力与光学系统的光斑尺寸相关，由于TI芯片DMD（DigitalMicromirrorDevice）的像素尺寸是固定的，所以光斑的尺寸就由镜头的倍率决定，在镜头倍率不变时，光斑的尺寸也固定不变，设备就不能解析比光斑尺寸更小的线条，所以像素尺寸成为了曝光设备极限能力的瓶颈。
技术实现思路
针对现有曝光设备不能解析比光斑尺寸更小的线条问题，本技术提供了一种高精度直写曝光镜头，将该曝光镜头应用至曝光设备中，可突破现有曝光设备的光斑尺寸瓶颈。本技术采用的技术方案为：一种高精度直写曝光镜头，包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度直写曝光镜头，包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，其特征在于，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容纳下曝光镜头的下腔，内沿上设有用于将方形光斑缩小为圆形光斑的MLA微透镜。

【技术特征摘要】
1.一种高精度直写曝光镜头，包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，其特征在于，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，龚田，
申请(专利权)人：苏州微影激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32