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本实用新型提供了一种高精度直写曝光镜头，属于曝光设备领域，其包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上...
该专利属于苏州微影激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微影激光技术有限公司授权不得商用。

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