一种四极质谱计制造技术
A quadrupole mass spectrometer
The utility model discloses a quadrupole mass spectrometer, which is used for component analysis of gas in a vacuum system, including a quadrupole mass spectrometer body, a quadrupole bar and a sampling tube, a quadrupole mass spectrometer body (1) connected by a CF flange and a sampling tube (2), a quadrupole (3) built in a sampling tube (2), and a intake port on the top of the sampling tube (2). The intake port is connected with the vacuum system to be analyzed (6), and the bottom end of the sampling tube (2) is connected with the vacuum pump (7). Compared with the traditional method of diverting the intake of the quadrupole mass spectrometer from the quadrupole mass spectrometer at the inlet, the sensitivity of the gas sampling is higher, and the gas analysis ability of the quadrupole mass spectrometer can be improved, which is beneficial to the quantitative analysis of the gas composition.
【技术实现步骤摘要】
一种四极质谱计
本技术涉及气体成分分析
，特别是四极质谱计的真空系统气体成分分析
技术介绍
目前，公知的四极质谱计采样管，一般是采用圆筒型结构，采样管基本与四极质谱计的四极杆等长，顶端用CF法兰连接四极质谱计，四极质谱计的四极杆内置在采样管中，采样管底端用CF法兰连接到三通，真空系统中待分析的气体流过三通，并通过分流进入四极质谱计的采样管，内置于采样管中的四极质谱计四极杆进行采样分析。现有的四极质谱计采样管如图1所示：四极质谱计是根据不同质荷比的离子在直流高频四极分析场中运动轨迹的稳定与否来实现质量分离的。四极质谱计灵敏度通常由三个因素组成：离子收集效率、离子源的灵敏度、四极场的传输率。由于真空系统中的气体通过三通分流后进入四极质谱计的采样管，气体电离后的离子量较小，四极质谱计离子收集效率低，致使现有方法下四极质谱计采样的灵敏度低。
技术实现思路
要解决的技术问题：为了克服现有的四极质谱计采样灵敏度低的缺点，本技术提供一种四极质谱计采样管，采用圆筒管道侧端开口结构，能提高四极质谱计采样的灵敏度。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种四极质谱计...
【技术保护点】
一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，其特征在于，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。
【技术特征摘要】
1.一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，其特征在于，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。2.根据权利要求1所述的一种四极质谱计，其特征在于，所述采样管（2）的进气口通过全金属截止阀（5）与待分析真空系统（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧雷，
申请(专利权)人：成都飞机工业集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：四川,51
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