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本实用新型公开一种四极质谱计,用于真空系统中气体的成分分析,包括四极质谱计本体、四极杆和采样管,四极质谱计本体(1)用CF法兰与采样管(2)连接,四极杆(3)内置在采样管(2)中,采样管(2)顶端开有进气口,进气口与待分析真空系统(6)连接...该专利属于成都飞机工业(集团)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都飞机工业(集团)有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种四极质谱计,用于真空系统中气体的成分分析,包括四极质谱计本体、四极杆和采样管,四极质谱计本体(1)用CF法兰与采样管(2)连接,四极杆(3)内置在采样管(2)中,采样管(2)顶端开有进气口,进气口与待分析真空系统(6)连接...