四极质谱计的离子源制造技术

本发明专利技术公开了一种四极质谱计的离子源，包括长方体状的电离箱，电离箱侧壁形成贯通的入光孔，另一相对侧壁形成原子入射孔，底部的电离底板中形成电离孔，电离箱下方的萃取板、基板上分别形成与电离孔同轴的萃取孔、基板孔，萃取板上下端面分别设置有与电离底板、基板相接触的陶瓷绝缘柱，形成入射孔的入射板通过两根支撑柱与基板下端面相连，所述的支撑柱穿过聚焦板的导向孔，聚焦板中心孔处设置有聚焦管，聚焦板下端面与入射板上端面之间设置有入射板绝缘柱，聚焦管、入射孔均与电离孔同轴。本发明专利技术能够直接将激光电离后的离子聚焦、萃取和加速引入质量分析仪中，从而实时调整激光参数，来提高原子光谱试验的可控性和试验效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种四极质谱计的离子源，包括长方体状的电离箱（1），其特征在于：电离箱（1）相对侧壁形成贯通的入光孔（2），另一相对侧壁形成原子入射孔（18），底部的电离底板（16）中形成电离孔（3），电离箱（1）下方的萃取板（5）、基板（7）上分别形成与电离孔（3）同轴的萃取孔（6）、基板孔（8），萃取板（5）上下端面分别设置有与电离底板（16）、基板（7）相接触的陶瓷绝缘柱（4），形成入射孔（13）的入射板（12）通过两根支撑柱（9）与基板（7）下端面相连，所述的支撑柱（9）穿过聚焦板（10）的导向孔（15），聚焦板（10）中心孔处设置有聚焦管（11），聚焦板（10）下端面与入射板（12）上端面之间设置有入射板绝缘柱（17），聚焦管（11）、入射孔（13）均与电离孔（3）同轴。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海勇，张晓卫，高鹏，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：天津;12