Pressure sensors can be used to measure gas or liquid pressure. A chamber can have an entrance to receive a gas or a liquid. The flexible diaphragm can be positioned in the chamber, and the flexible diaphragm is exposed to the surface of the gas or liquid after the flow of gas or liquid through the inlet. The pressure sensor system can sense the change of flexible diaphragm caused by pressure change of gas or liquid. Pressure insensitive sensor system can sense changes caused by changes in pressure of gas or liquid in flexible diaphragm. Pressure insensitive sensor system can not be sensitive to changes in pressure caused by changes in gas or liquid pressure in flexible diaphragm.
【技术实现步骤摘要】
具有实时健康监测和补偿的压力传感器本申请是于2014年2月14日申请的申请号为201480010161.7(PCT申请号为PCT/US2014/016451)、专利技术名称为“具有实时健康监测和补偿的压力传感器”的专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用本申请基于下述申请并要求下述申请的优先权:2013年11月5日提交的、题为“具有实时健康监测和补偿的压力传感器”、号为14/072,188的美国专利申请;2013年2月28日提交的、题为“具有集成健康监测的压力传感器”、号为61/770,817的美国临时专利申请;和2013年4月30日提交的、题为“具有集成监测的压力传感器”、号为61/817,724的美国临时专利申请。这些申请的每一申请的全部内容通过引用并入本文。
本申请涉及压力传感器,包括将柔性膜片暴露于具有待被测量压力的气体或液体的压力传感器。
技术介绍
使用柔性膜片的压力传感器可以在各种各样的应用中使用。柔性膜片的一侧可以暴露于具有待被测量压力的气体或液体。另一侧可以与气体或液体隔离,但暴露于密封腔室。待被测量的压力上的变化可以导致柔性膜片挠曲上的相应变化。这些变化的测量可以用作压力变化的指示。一些压力传感器在可能损坏所述柔性膜片的环境中使用。例如,一些压力传感器在化学气相沉积(CVD)系统中使用。这些系统可能导致沉积物在柔性膜片上稳定积聚和/或由于原子掺杂导致的柔性膜片变化。对柔性膜片的该损坏会不利地影响所进行的压力测量的精确度。处理该问题的一种方法可以是定期地更换柔性膜片。然而,这可能会导致过早和过度延迟更换以及在更换过程期间系统的无法使用。另一种 ...
【技术保护点】
用于测量气体或液体压力的压力传感器,包括:腔室,所述腔室具有接收气体或液体的入口;位于腔室内的柔性膜片,所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面;压力传感器系统,所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化;以及压力不敏感传感器系统,所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化,并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感。
【技术特征摘要】
2013.02.28 US 61/770,817;2013.04.30 US 61/817,724;1.用于测量气体或液体压力的压力传感器,包括:腔室,所述腔室具有接收气体或液体的入口;位于腔室内的柔性膜片,所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面;压力传感器系统,所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化;以及压力不敏感传感器系统,所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化,并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感。2.根据权利要求1所述的压力传感器,其中压力不敏感传感器系统包括在所述柔性膜片上或内的压力不敏感位置处的局部传感器,所述压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化。3.根据权利要求1所述的压力传感器,其中所述压力不敏感传感器系统包括:在所述柔性膜片上或内的不同压力敏感位置处的多个局部传感器;以及外推处理系统,根据所述多个局部传感器的输出,所述外推处理系统外推所述柔性膜片上或内的压力不敏感位置处的变化,所述压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化。4.根据权利要求3所述的压力传感器,其中:所述柔性膜片具有由压力不敏感位置构成的线,每个压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化;所述多个局部传感器中的至少两个定位在所述线的相反侧上。5.根据权利要求3所述的压力传感器,其中:所述柔性膜片具有由压力不敏感位置构成的线,每个压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化;以及所述多个局部传感器中的至少两个定位在所...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾磊,P·D·卢卡斯,S·F·巴尔特,P·W·苏立万,
申请(专利权)人:MKS仪器公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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