一种内置油路系统的双级滑阀真空泵技术方案

本实用新型专利技术属于真空设备技术领域，特指一种内置油路系统的双级滑阀真空泵。包括电机，油箱和泵体，泵体上设置有与外界连通的主进气口，油箱顶部开设有主排气口，泵体内部通过可拆卸的隔板甲和隔板乙分成三缸，中间为一高级长缸，两侧分别为高级短缸和低级短缸，隔板甲上开设有高级长缸进油道和低级短缸进油道，隔板乙上开设有高缸进油道，泵体上开设有若干个分别连通至所述高级长缸进油道、低级短缸进油道和高缸进油道的进油孔。本实用新型专利技术内置油管，进油全部从隔板进，采用在泵体上钻油孔的方式，各油孔端口用管堵堵死，油孔内部连通高、低缸油池，提供各自泵腔内运转所需的润滑油，内置油管工作效率高，无外接管路，简单美观。

【技术实现步骤摘要】
一种内置油路系统的双级滑阀真空泵
本技术属于真空设备
，特指一种抽气量为150L/s的内置油路系统的双级滑阀真空泵。
技术介绍
近几年来，随着光伏产业的迅猛发展，单晶硅被用来制作太阳能电池，呈现出供不应求的局面。太阳能电池板在阳光照射下，光能便立即转化成电能，而且能不停地发电，可以连续工作20年以上。他发出的直流电可直接供给用电器，还可以储存到蓄电池内，再逆变成交流电，进而组装成太阳能发电机组，供各种家用电器使用，还可以将许多硅电池链接起来，组装成光伏电站向国家电网输电。太阳能单晶硅电池是国家大力推广，发展前途光明，没有污染的绿色能源。而在生产太阳能单晶硅的过程中，单晶炉上都会配备滑阀真空泵，但是随着单晶硅棒的尺寸越来越大，对滑阀真空泵的抽速要求也逐步上升，目前，一般采用一缸半的结构，震感比较大，而单晶硅棒在较大的震感中容易拉丝折断，严重影响产品的质量和产量；也有一些采用双级泵缸的结构，但是大多结构的油路都是外接的，使整个机构变得更加复杂，并且使用时外接油管容易损坏，使用寿命受到限制。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述
技术介绍
中存在的问题，提供一种占地面积小、维护保养方便、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种内置油路系统的双级滑阀真空泵，从下至上依次包括泵体，油箱和电机，泵体上设置有与外界连通的进气通道，进气通道上开设有主进气口，油箱顶部开设有主排气口，其特征在于：所述泵体内部通过可拆卸的隔板甲和隔板乙分成三缸，中间为一高级长缸，两侧分别为高级短缸和低级短缸，所述高级长缸与高级短缸组成高缸，低级短缸组成为低缸；所述隔板甲上开设有高级长缸进油道和低级短缸进油道，所述隔板乙上开设有高缸进油道，泵体上开设有若干个进油孔，若干个进油孔分别连通至所述高级长缸进油道、低级短缸进油道和高缸进油道；所述低缸与排气阀相连，所述高缸的排气口与所述低缸的进气口相连。

【技术特征摘要】
1.一种内置油路系统的双级滑阀真空泵，从下至上依次包括泵体，油箱和电机，泵体上设置有与外界连通的进气通道，进气通道上开设有主进气口，油箱顶部开设有主排气口，其特征在于：所述泵体内部通过可拆卸的隔板甲和隔板乙分成三缸，中间为一高级长缸，两侧分别为高级短缸和低级短缸，所述高级长缸与高级短缸组成高缸，低级短缸组成为低缸；所述隔板甲上开设有高级长缸进油道和低级短缸进油道，所述隔板乙上开设有高缸进油道，泵体上开设有若干个进油孔，若干个进油孔分别连通至所述高级长缸进油道、低级短缸进油道和高缸进油道；所述低缸与排气阀相连，所述高缸的排气口与所述低缸的进气口相连。2.根据权利要求1所述的内置油路系统的双级滑阀真空泵，其特征在于：所述进油孔端口上安装有管堵。3.根据权利要求1或2所述的内置油路系统的双级滑阀真空泵，其特征在于：所述低缸上安装有电磁阀，所述高缸上安装有用于补充油量的浮球阀。4.根据权利要求3所述的内置油路系统的双级滑阀真空泵，其特征在于：所述高级长缸为长缸，高级短缸与低级短缸为长度相等的短缸，长缸的长度等于两个短缸的长度之和。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：何小满，
申请(专利权)人：浙江力鑫真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33