一种电化学抛光装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种电化学抛光装置
本技术涉及金属表面处理领域，尤其是涉及电化学抛光工艺与抛光装置。
技术介绍
电化学抛光是近几十年发展起来的表面处理技术，目的是为了改善金属表面的微观几何形状，降低金属表面的显微粗糙程度。电化学抛光的原理是在一定电解液中以金属工件为阳极，同时进行两个互相矛盾的过程(即金属表面氧化膜的生成和溶解)，使金属工件表面的粗糙度下降，光亮度提高，并产生一定的金属光泽。参照说明书附图1，示出了阳极电位-电流密度的曲线图，有图可知：(1)阳极电位在U1-U2之间时，阳极电流密度随电压的增大而迅速增大，金属的溶解速率也相应的迅速增大，工件表面被腐蚀，此区称为活化区；(2)阳极电位在U2-U3时，电流密度随电压升高而下降，这主要是阳极表面生成的粘性薄膜提高了阳极表面的电阻而引起，此区称为过渡区；(3)阳极电位在U3-U4时，随着阳极电压的增大，电流保持稳定，阳极表面溶解，金属离子不断进入附近的溶液中。由于金属离子产生的速率大于向溶液扩散的速率，于是在金属表面和电解液之间形成一层粘稠金属盐液体膜，同时钝化膜也有效的形成。此时，系统反应速率受溶解产物扩散快慢的控制。此...
【技术保护点】
一种电化学抛光装置，其特征在于，包括电解槽、电极、参考面、电源与驱动组件，所述电解槽用于存放电解液，所述电极位于所述电解槽内，所述电源的负极与所述电极连接，所述电源的正极用于与金属工件连接，所述参考面由所述驱动组件驱动，以贴近所述金属工件，以及相对所述金属工件振动。
【技术特征摘要】
1.一种电化学抛光装置，其特征在于，包括电解槽、电极、参考面、电源与驱动组件，所述电解槽用于存放电解液，所述电极位于所述电解槽内，所述电源的负极与所述电极连接，所述电源的正极用于与金属工件连接，所述参考面由所述驱动组件驱动，以贴近所述金属工件，以及相对所述金属工件振动。2.根据权利要求1所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述参考面满足：粗糙度要求小于等于1纳米，形面精度要求小于等于2微米。3.根据权利要求1所述的电化学抛光装置，其特征在于，所述参考面振动时距离所述金属工件表面的最小距离大于5微米，所述参考面的振幅为1微米至100微米。4.根据权...
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