用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极技术

本发明专利技术涉及一种用于制造金刚石电极的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供由硅组成的基体2，该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极22的尺寸，b)将至少一个凹部10蚀刻到所述基体2的表面8中，c)将额定断裂部位18引入到所述基体2中，d)向所述基体2覆以金刚石层，e)将所述金刚石电极22从所述基体2中沿着所述额定断裂部位18折断出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极
本专利技术涉及一种用于制造金刚石电极的方法以及一种可根据该方法制造的金刚石电极。
技术介绍
目前金刚石电极尤其使用在多个不同的应用中。目前在处理器制造中施加具有金银丝结构(filigraneStruktur)的多个不同层。为了保证按照规定的功能性，必须有规律地清洁和处理待涂覆的表面。平均对每个要施加的层实施两次到三次清洁和表面处理过程。在此，不同类型的污染必须通过不同类型的清洁液体移除。针对有机污染例如使用经臭氧处理的水，而为了移除布置在表面上的颗粒使用阴极水。阳极水例如用于移除金属污染。为了移除表面残留污染，也可以使用专门的、包含稀释的氢氟酸和臭氧的阳极水。为了制造所有所述清洁溶液，目前可以在相应电极布置中使用金刚石电极。金刚石电极可以由大量的金刚石单晶组成，然而在该构型中是非常昂贵的。因此由现有技术已知，金刚石电极由基底材料制造，该基底材料涂覆有薄的金刚石层。在此，作为基底材料经常使用金属，由此用于制造不同清洁溶液所需的电流可以良好地导至电极表面。然而不利的是，仅涂覆以金刚石层的金属电极含有在清洁溶液中出现金属污染的危险。此外，金属材料在所需本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于制造金刚石电极(22)的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供由硅组成的基体(2)，该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极(22)的尺寸，b)将至少一个凹部(10)蚀刻到所述基体(2)的表面(8)中，c)将额定断裂部位(18)引入到所述基体(2)中，d)向所述基体(2)覆以金刚石层，e)将所述金刚石电极(22)从所述基体(2)中沿着所述额定断裂部位(18)折断出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.26 DE 102015006514.91.用于制造金刚石电极(22)的方法，所述方法具有以下步骤：a)提供由硅组成的基体(2)，该基体的尺寸大于要制造的所述金刚石电极(22)的尺寸，b)将至少一个凹部(10)蚀刻到所述基体(2)的表面(8)中，c)将额定断裂部位(18)引入到所述基体(2)中，d)向所述基体(2)覆以金刚石层，e)将所述金刚石电极(22)从所述基体(2)中沿着所述额定断裂部位(18)折断出。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基体(2)是硅单晶。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述至少一个凹部(10)具有至少一个沿着所述基体(2)的预先确定的晶面走向的侧壁(12)。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述至少一个凹部(10)具有多个、优选四个侧壁(...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·弗里达，T·马特，
申请(专利权)人：康迪亚斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE