一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现切割方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法，晶棒固定在多线切割机数根钢线的工作台上；启动多线切割机，砂浆搅拌电机搅拌砂浆储存罐砂浆，砂浆泵分别通过砂浆管Ⅰ、砂浆管Ⅱ、砂浆管Ⅲ向上喷管和两个多孔喷管供给砂浆，两个多孔喷管分别将砂浆喷在两个挡板上，砂浆从挡板下端的斜板流下粘附在数根钢线上，同时，工作滚轮往复转动，带动数根钢线对晶棒进行往复式切割。两套砂浆喷布装置上的多孔喷管及挡板，使喷出的砂浆均匀喷布在切割钢线上。本发明专利技术降低了破裂率，降低至2%以内，减小了晶片表面切割痕，提高了良品率，薄片产品良品率由92%提高至98%，提高了产品质量。

Mortar spraying device for multi wire cutting machine and its realization method

The invention relates to a mortar spraying device for multi wire cutting machine and its realization method. The crystal rod is fixed on the worktable of several steel wire of the multi wire cutting machine, and the multi wire cutting machine is started, the mortar stirred mortar stirring mortar storage tank mortar is stirred by mortar. The mortar pump is carried out through the mortar pipe I, the mortar pipe II, the mortar tube III to the upper nozzle and two The porous nozzle supplies mortar. The mortar is sprayed on two baffles with two perforated nozzles. The mortar is attached to a number of steel lines from the slanted plate at the bottom of the baffle. At the same time, the working roller rotates and turns, driving several steel wires to carry on the reciprocating cutting of the crystal rod. Two sets of perforated nozzles and baffles on the mortar spraying device, so that the sprayed mortar is evenly sprayed on the cutting steel line. The invention reduces the rupture rate to less than 2%, reduces the cutting mark on the wafer surface, improves the good product rate, increases the good product rate from 92% to 98%, and improves the quality of the product.

【技术实现步骤摘要】
一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法
本专利技术涉及一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法，属于半导体多线切割领域，用于多线切割机上，控制砂浆的均匀流量。
技术介绍
原有的用于多线切割机的砂浆喷布装置，在晶棒上方，使用多孔管散喷砂浆，其不足之处为：喷布的砂浆不均匀，容易在晶片表面造成切割痕，且由于喷出砂浆冲击力较大，造成切割中晶片破裂、崩边，晶片不良率较高。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种用于多线切割机的砂浆喷布装置及实现方法，本专利技术重新设计了多孔喷管，以及专用的挡板，使砂浆均匀喷布在切割钢线上，并且增加了流量控制阀，通过PLC控制器控制不同阶段的砂浆流量，从而在提高晶片质量的同时降低了砂浆对晶片的冲击，提高了良品率。本专利技术为实现上述目的采用的技术方案是：一种用于多线切割机的砂浆喷布装置，包括多线切割机，其特征在于：还包括砂浆喷布装置、流量控制阀，所述砂浆喷布装置包括连接板、挡板、连接件、多孔喷管、弯板；所述连接板为矩形板，在连接板面上分别设有两个挡板连接孔、两个设备固定长圆状孔、四个连接件孔；所述挡板为条状板，挡板上端为直板，下端为斜板，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多线切割机的砂浆喷布装置，包括多线切割机（3），其特征在于：还包括砂浆喷布装置（1）、流量控制阀（2），所述砂浆喷布装置（1）包括连接板（1‑1）、挡板（1‑2）、连接件（1‑3）、多孔喷管（1‑4）、弯板（1‑5）；所述连接板（1‑1）为矩形板，在连接板（1‑1）面上分别设有两个挡板连接孔（1‑1‑1）、两个设备固定长圆状孔（1‑1‑2）、四个连接件孔（1‑1‑3）；所述挡板（1‑2）为条状板，挡板（1‑2）上端为直板，下端为斜板（1‑2‑1），在直板上设有连接孔（1‑2‑2）；所述连接件（1‑3）为L状板，在连接件（1‑3）上端的直板上设有两个长圆状孔（1‑3‑1），在连接件（1‑...

【技术特征摘要】
1.一种用于多线切割机的砂浆喷布装置，包括多线切割机（3），其特征在于：还包括砂浆喷布装置（1）、流量控制阀（2），所述砂浆喷布装置（1）包括连接板（1-1）、挡板（1-2）、连接件（1-3）、多孔喷管（1-4）、弯板（1-5）；所述连接板（1-1）为矩形板，在连接板（1-1）面上分别设有两个挡板连接孔（1-1-1）、两个设备固定长圆状孔（1-1-2）、四个连接件孔（1-1-3）；所述挡板（1-2）为条状板，挡板（1-2）上端为直板，下端为斜板（1-2-1），在直板上设有连接孔（1-2-2）；所述连接件（1-3）为L状板，在连接件（1-3）上端的直板上设有两个长圆状孔（1-3-1），在连接件（1-3）下端的凸起块上设有喷管孔（1-3-2），在凸起块上设有螺孔（1-3-3）；所述多孔喷管（1-4）的一端为接口（1-4-1），另一端为管堵（1-4-2），在多孔喷管（1-4）的管体上设有两排喷孔（1-4-3），每排数个喷孔（1-4-3）间隔设置；在连接板（1-1）下端固定挡板（1-2），在连接板（1-1）两侧端分别固定一个连接件（1-3），在两个连接件（1-3）的喷管孔（1-3-2）中固定多孔喷管（1-4），多孔喷管（1-4）的两排喷孔（1-4-3）与挡板（1-2）相对应；两套砂浆喷布装置（1）分别通过弯板（1-5）固定在多线切割机（3）的机架（3-1）上，两套砂浆喷布装置（1）上的多孔喷管（1-4）相对应，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建达，郭明，方继伟，孙强，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十六研究所，
类型：发明
国别省市：天津,12