The utility model discloses a guide wheel for a multi wire cutting machine, which includes a wire drawing wheel and a wire receiving wheel. The first limit slider is arranged on one side of the line wheel and the one side of the line collecting wheel. The first limit slide block is set in the first limit slot, and the first piston push rod is respectively set on the other side of the line wheel and the line collecting wheel, and the first piston push rod and the first are first. A steel wire is arranged on the line wheel and the wire receiving wheel. The steel wire is connected to the guide wheel to form a line net. The second limit slide block is set on one side of the guide wheel group. The second limit slide block is set in the second limit slot. The other side of the guide wheel sets the second piston push rod, and the second piston push rod is connected with the second positioning cylinder. The mortar nozzle is set separately on the left and right sides of the guide wheel. The utility model is simple in structure and convenient in operation. The setting of the positioning cylinder with the limit slide block and the limit slide groove will be able to quickly adjust the distance between the line wheel, the wire receiving wheel and the guide wheel, and improve the working efficiency and facilitate the disassembly and maintenance.
【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机用导轮
本技术涉及多线切割机设备
,具体涉及一种多线切割机用导轮。
技术介绍
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。在半导体切割装置
中,多线切割机技术作为一种比较先进的硅片加工技术,被当前绝大多数硅片生产厂家所采用。作为多线切割机的核心部件,导轮结构对切割硅片的精度和质量起着至关重要的作用,其包括导轮本体,位于导轮本体外周的导轮涂层,位于导轮涂层上并沿导轮本体圆周布置的导轮槽和卡在导轮槽的钢线。在多线切割机工作时,缠绕在导轮上的数百条钢线沿导轮本体圆周方向高速旋转,从而将磨料切割成具有一定厚度的薄片。导轮中的导轮槽用于承载钢线,并约束钢线的切割方向,其主要参数有槽距、槽深、开槽角度、槽距修正值、外径、跳动值等。现有市面上并没有一种自带固定钢线的导轮,且多线切割时容易发生跳动、错乱的情况,因此影响切割质量设置导致钢线断裂、被加工品报废,并且现有导轮都为固定式安装,并没有一种可以根据需求快速调整距离的导轮。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种安全可靠、加工精度高且可快速调整距离的多线切割机用导轮,包括放线轮与收线轮,所述放线轮与收线轮一侧分别设置第一限位滑块,第一限位滑块设置在第一限位滑槽内,在放线轮与收线轮另一侧分别设置第一活塞推杆,第一活塞推杆与第一定位气缸连接,所述放线轮与收线轮上设置钢线,钢线连接导轮组形成线网,在导轮组一侧设置第二 ...
【技术保护点】
一种多线切割机用导轮,包括放线轮(1)与收线轮(101),其特征在于:所述放线轮(1)与收线轮(101)一侧分别设置第一限位滑块(2),第一限位滑块(2)设置在第一限位滑槽(3)内,在放线轮(1)与收线轮(101)另一侧分别设置第一活塞推杆(4),第一活塞推杆(4)与第一定位气缸(5)连接,所述放线轮(1)与收线轮(101)上设置钢线(6),钢线(6)连接导轮组(7)形成线网(102),在导轮组(7)一侧设置第二限位滑块(8),第二限位滑块(8)设置在第二限位滑槽(9)内,所述导轮组(7)另一侧设置第二活塞推杆(10),第二活塞推杆(10)与第二定位气缸(11)连接,在导轮组(7)上方左右两侧分别设置砂浆喷嘴(12),所述两砂浆喷嘴(12)中间设置被加工棒材(13),被加工棒材(13)设置在线网(102)上,所述放线轮(1)、收线轮(101)与导轮组(7)外表面设置导轮涂层(15),在放线轮(1)、收线轮(101)与导轮组(7)上设置导轮槽(16),导轮槽(16)内设置钢线(6),在导轮槽(16)左右两侧分别设置卡槽(18),在卡槽(18)内设置卡爪(19),卡爪(19)连接弹簧装置( ...
【技术特征摘要】
1.一种多线切割机用导轮,包括放线轮(1)与收线轮(101),其特征在于:所述放线轮(1)与收线轮(101)一侧分别设置第一限位滑块(2),第一限位滑块(2)设置在第一限位滑槽(3)内,在放线轮(1)与收线轮(101)另一侧分别设置第一活塞推杆(4),第一活塞推杆(4)与第一定位气缸(5)连接,所述放线轮(1)与收线轮(101)上设置钢线(6),钢线(6)连接导轮组(7)形成线网(102),在导轮组(7)一侧设置第二限位滑块(8),第二限位滑块(8)设置在第二限位滑槽(9)内,所述导轮组(7)另一侧设置第二活塞推杆(10),第二活塞推杆(10)与第二定位气缸(11)连接,在导轮组(7)上方左右两侧分别设置砂浆喷嘴(12),所述两砂浆喷嘴(12)中间设置被加工棒材(13),被加工棒材(13)设置在线网(102)上,所述放线轮(1)、收线轮(101)与导轮组(7)外表面设置导轮涂层(15),在放线轮(1)、收线轮(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:余瓛,
申请(专利权)人:昆山进荣中川五金有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。