一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙；可有效消除和减轻用于监测和控制盘面形常规设备和工艺的某些缺点，减少熟练工人依赖。

A device for monitoring surface curvature of deformable abrasive discs

The utility model discloses a device for monitoring the surface curvature of a deformable lapping and polishing disc, including a base disc, an abrasive discs arranged on the base plate, and an on-line grinding disc flatness detection device on the grinding discs. The base disc and the grinding discs are formed between the grinding disc and the base disc, and the grinding disc and the base disc are made. A large seal ring is set on the outside of the gap; a base shaft is set below the base plate, the central axis of the base shaft is set at the middle of the center shaft, both ends of the central axis are respectively set up bearing and lower bearing, and the upper part of the center shaft is set with a sensor, and the sensor probe is set on the sensor, and the outside of the sensor is set up. A small sealing ring is set below the vacuum chamber. The vacuum chamber is connected to the gap between the grinding disc and the base plate by setting the vacuum guide hole in the base plate, and it can effectively eliminate and reduce some shortcomings of the conventional equipment and technology used for monitoring and controlling the disk surface, and reduce the skilled workers' dependence.

【技术实现步骤摘要】
一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置
本技术属于光学器件及半导体晶圆研磨抛光领域，进一步说，尤其涉及一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置。
技术介绍
对于光学器件和半导体晶圆的平面加工，通常都是将工件放置到研磨抛光盘表面，对工件表面进行加工处理。研磨抛光盘的表面通常是平整的，这使得工件被研磨抛光后的表面也将变得跟研磨抛光盘一样平整。然而，由于工件在加工过程中会有轻微的晃动，并且由于摩擦加热也会使工件发生热变形，所以研磨抛光盘的表面实际上可能需要稍微凹进或凸起一些来最终实现所需要的工件表面平坦度。此外，由于研磨抛光盘的表面在使用过程中会遭受磨损，因此也需要予以补偿。对于研磨抛光盘表面的平整度测量：常规方法包括手动平整度测量规测量法、干涉测量法等，这个测量过程需要熟练的操作人员，并且耗时耗力。对于热变形和局部磨损的问题，通常是由熟练有经验的操作人员根据实际情况手动进行相关参数的调整。对于研磨抛光盘表面的平整度测量和调整：整个过程通常需要熟练有经验的操作人员根据实际情况手动进行相关参数的调整，耗时耗力，而测量和调整的过程又导致生产必须停止，直接影响生产，无法提高效率。
技术实现思路
本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙。

【技术特征摘要】
1.一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，其特征在于：包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙。2.如权利要求1所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘佩伟，黄仕康，王碧浪，
申请(专利权)人：上海怀德机电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31