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本实用新型公开了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置...
该专利属于上海怀德机电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海怀德机电有限公司授权不得商用。

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