用于无接触地评价晶圆的表面特性的方法和装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于无接触地评价晶圆的表面特性的方法和装置本专利技术涉及一种用于采用角度解析的散射光测量技术无接触地评价盘状的、精细加工的工件特别是晶圆的表面特性的方法，其中，光学传感器把具有规定的光强分布的光线束发出到工件的要予以评价的表面上，并照明测量点，其中，借助具有多个分立的光探测器的行扫描传感器，在规定的角度范围内探测光线的反射光强，并由探测到的光强计算表面特性的至少一个特征值。本专利技术还涉及一种用于实施该方法的装置。角度解析的采用相关传感器的散射光测量技术在2010年7月份的VDA推荐物VDA2009中有详细介绍(VDA：汽车工业联合会)。这种散射光测量技术由于所述方法的稳健性和高的测量速度而既适用于100％地在线监视过程，又特别地适用于无接触地测量横向于加工方向的粗糙度(横向粗糙度)和纵向于加工方向的粗糙度(纵向粗糙度)，以及适用于形状和波纹度测量。在此通过反向散射的光来测量精加工表面的表面角度分布。由此既可以算得表面结构的特征值，又可以算得形状特征比如平整度、圆整度、波纹度、振纹等。作为用来评价表面特性的特征参数，例如可以采用散射角分布的方差Aq作为表面微观结构的...
【技术保护点】
一种用于采用角度解析的散射光测量技术无接触地评价盘状的、精细加工的工件(W)特别是晶圆(W)的表面特性的方法，其中，光学的传感器(10)把具有规定的光强分布的光线束(24)发出到所述工件(W)的要予以评价的表面上，并照明测量点(14)，借助具有多个(i)分立的光探测器(18)的行扫描传感器(16)，在规定的角度范围(α)内探测光线的反射光强(Ii)，并由此求取至少一个光强特征值(Ig)，把所述工件(W)可转动地安置在转动机构(40)中，并检测转角(β)，使得所述传感器(10)在定位机构中相对于所述工件(W)的表面定向，从而所述传感器的测量轴线(20)垂直于所述表面，其中，所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.25 DE 102015114065.91.一种用于采用角度解析的散射光测量技术无接触地评价盘状的、精细加工的工件(W)特别是晶圆(W)的表面特性的方法，其中，光学的传感器(10)把具有规定的光强分布的光线束(24)发出到所述工件(W)的要予以评价的表面上，并照明测量点(14)，借助具有多个(i)分立的光探测器(18)的行扫描传感器(16)，在规定的角度范围(α)内探测光线的反射光强(Ii)，并由此求取至少一个光强特征值(Ig)，把所述工件(W)可转动地安置在转动机构(40)中，并检测转角(β)，使得所述传感器(10)在定位机构中相对于所述工件(W)的表面定向，从而所述传感器的测量轴线(20)垂直于所述表面，其中，所述定位机构(46)使得所述传感器(10)得到安置，从而所述传感器沿径向(r)相对于所述工件(W)的表面可移动且围绕其测量轴线(20)可转动角度(θ)，采用设置模式，使得所述传感器(10)在预定的测量位置围绕其测量轴线(20)转动，并求取初始转动位置，连同相关的初始转角(θ)，所述光强特征值(Ig)在所述初始转动位置时最大，其中，采用测量模式，使得控制机构(50)在考虑到所述初始转角(θ)的情况下，由所述光探测器(18)的探测到的光强(Ii)计算表面特性的至少一个特征值(Aq；Aq*；M)。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，采用所述测量模式，使得所述控制机构(50)求得表面特性的其它特征值(Aq；Aq*；M)，其中，调节转角(θ)，所述转角是由所述初始转角加上矫正角度得到的。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述矫正角度为±45°或±90°。4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，采用所述设置模式，求取所述行扫描传感器(16)的多个或全部的光探测器(18)的光强总和，作为光强特征值(Ig)。5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中，采用测量模式，所述转动机构(40)使得所述工件(W)转动预定的角度(β)，所述传感器(10)在这种情况下持续地扫描所述工件(W)的表面，并且求取沿着相关的圆形轨道的所述特征值或所述各个特征值的走势。6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，采用测量模式，平面式地扫描所述工件的表面的至少一个部段，其中，根据在所述工件上的测量位置的半径(r)来改变围绕所述传感器(10)的测量轴线(20)的转角(θ)。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述转角(θ)的变化按照预定的函数F(r,θ)进行。8...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖纳·布鲁德曼，鲍里斯·布鲁德曼，
申请(专利权)人：布鲁德曼技术有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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