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用于无接触地评价晶圆的表面特性的方法和装置制造方法及图纸
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文档序号:17745410
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用于采用角度解析的散射光测量技术无接触地评价工件(W)的表面特性的方法和装置,包括照明测量点(14)的光学的传感器(10)。借助行扫描传感器(16)探测光线的反射光强,并由此求取光强特征值(Ig)。求取水平的初始转角(θ),光强特征值(Ig...
该专利属于布鲁德曼技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过布鲁德曼技术有限公司授权不得商用。
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