下载用于无接触地评价晶圆的表面特性的方法和装置的技术资料

文档序号:17745410

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

用于采用角度解析的散射光测量技术无接触地评价工件(W)的表面特性的方法和装置,包括照明测量点(14)的光学的传感器(10)。借助行扫描传感器(16)探测光线的反射光强,并由此求取光强特征值(Ig)。求取水平的初始转角(θ),光强特征值(Ig...
该专利属于布鲁德曼技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过布鲁德曼技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。