用于真空镀膜设备的共直流母线装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端相连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；下位机与整流单元及驱动单元连接；整流单元的输入端与供电系统连接，整流单元的输出端与公共母线连接；制动单元以及各驱动单元，并联在公共母线上。本实用新型专利技术可以实现多台电机之间电动状态和发电状态之间能量的互相利用以减少电能的消耗，还可以有效地节省真空镀膜设备中电气设备的安装空间，并且硬件构成相较现有的传动电机驱动系统更为简洁，既能控制成本也便于维护。

Co DC bus device for vacuum coating equipment

The utility model discloses a device for DC bus for vacuum coating equipment, including Taiwan drive motor, output end connected with the driving unit of the respective connecting import room drive motor drive motor, evaporation chamber and a buffer chamber drive motor, also includes lower computer, rectifier unit, and the public bus at least one braking unit; the lower computer and the rectifying unit and a driving unit is connected; the rectifier unit is connected to the input end and the output end of the power supply system, rectifier unit is connected with the public bus; braking unit and drive unit, connected in parallel to the common bus. The utility model can realize the multi motor between the use of energy between the state and state of electric power to reduce the power consumption, but also can effectively save installation space of electrical equipment for vacuum coating equipment, and the hardware structure compared with the existing drive motor drive system is simpler, can control the cost of maintenance is convenient.

【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜设备的共直流母线装置
本技术涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置。
技术介绍
在镀膜过程中，基片放置在不同腔室的传动装置上，并由不同腔室的多个电机驱动对应的传动装置以实现基片在腔室之间的传输。通常，真空镀膜设备包括上片台、进出片室、蒸发室、缓冲室四个腔室，其中每个腔室的传动装置配备至少一台专用电机，然而负责不同腔室的电机却独立运行，各电机之间在硬件上没有任何联系，因而导致了如下缺陷：1)各电机在电动和发电时的能量资源无法相互利用，造成能量的浪费；2)各电机均需要单独配备各自的驱动系统、控制单元、以及制动单元等，增加成本并且占用安装空间；3)装置繁复造成维护不便。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，以将各腔室的电机驱动系统尽最大限度地进行统一，从而克服上述缺陷。本技术采用的技术方案如下：一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；所述下位机与所述整流单元及驱动单元连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，其特征在于，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；所述下位机与所述整流单元及驱动单元连接；所述整流单元的输入端与供电系统连接，所述整流单元的输出端与所述公共母线连接；所述制动单元以及各所述驱动单元，并联在所述公共母线上。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，其特征在于，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；所述下位机与所述整流单元及驱动单元连接；所述整流单元的输入端与供电系统连接，所述整流单元的输出端与所述公共母线连接；所述制动单元以及各所述驱动单元，并联在所述公共母线上。2.根据权利要求1所述的共直流母线装置，其特征在于，所述制动单元包括制动控制模块和放电电阻；所述制动控制模块分别与所述公共母线以及放电电阻连接。3.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述驱动单元包括逆变器或变频器。4.根据权利要求1或2所述的共直流母线装置，其特征在于，所述上片台传动电机、所述进出片室传动电机、所述蒸发室传动电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚立柱，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11