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本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的共直流母线装置，包括分别与各自的驱动单元的输出端相连接的上片台传动电机、进出片室传动电机、蒸发室传动电机和缓冲室传动电机，还包括：下位机、整流单元、公共母线以及至少一个制动单元；下位机与整流单元及驱动单...
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