The utility model discloses a thimble connecting base for supporting wafers, comprising a thimble needle body. The top part of the thimble needle body is integrally provided with circular metal sheets, and the longitudinal section of the needle body is T type structure, and the lower part of the needle body is an outer threaded segment. The connecting base comprises a seat body connected to the base, and both sides of the seat body top and bottom are cross shaped. The four ends of the two sides of the top and bottom sides are evenly distributed with a thimble connection hole which is connected to the upper and lower parts, and each thimble connection hole is vertically connected with a thimble. The inner thread of the top needle connecting hole is fitted with the external thread of the thimble needle. The use of four thimble and its connection base can effectively avoid the discard result of wafer in a daily process due to a pin's deviation from the same level. Even if one of them appears to replace the powerful thimble loss, the remaining three cases, the root can still maintain the balance of the thimble wafer, normal carrier wafer, thereby reducing the occurrence of the wafer scrap.
【技术实现步骤摘要】
一种托载晶圆用的顶针连接底座
本技术属于通信行业
,涉及ICP设备,具体地说,涉及一种托载晶圆用的顶针连接底座。
技术介绍
对于ICP(InductivelyCoupledPlasma,电感耦合等离子体刻蚀)设备取用晶圆至平台,传统的干法蚀刻工艺会产生高温,工艺中产品需要维持一个温度,通常是利用氦气进行冷却,冷却需要均匀度,为此,需在产品正中间输出冷却气体,不宜采用大面积中央接触式托载支撑。现有技术中,为了最大限度节省设备原材料,降低加工成本,减少Helium(氦气)的出气孔,降低真空漏率风险(少一个孔,就少一个漏点),采用了如图1、2所示的几何图形(等边三角形)3根顶针方式将晶圆从机械手臂上托载至加工平台上。理论上来讲,采用的3根顶针平台加工钻洞最少,金属顶针原材料最节省。然而,当其均处于同一水平面时便能很好地托载晶圆,并保持晶圆的稳定,最终将其平稳地转移至平台上。但是,金属顶针其中一根偏离预设平面,平衡则立刻被打破,晶圆偏离轨道,就会造成多种后果(如晶圆报废等情况)。对于一些大型设备,在实际使用过程中不可避免地会产生震动,当然,有些震动是很微小的,尤其是在大型设备运行所产生的噪音下,人们往往不易察觉到,而微小的震动经过慢慢地积累就会使三根顶针发生松动,继而不在同一个水平面上,导致晶圆在顶针上发生倾斜,由于重力的影响,晶圆会向倾斜低的方向发生偏离。轻微偏离的会造成晶圆被陶瓷压环压碎的结果;若是大幅度的偏离则会造成晶圆跌落出平台,直至产生坠入腔体底部而碎裂或划伤的恶略情况。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足或缺陷,提供一种托载晶圆用的顶针连 ...
【技术保护点】
一种托载晶圆用的顶针连接底座,包括顶针针体、顶针针体连接底座的座体,其特征在于,所述顶针针体的顶部一体设有圆形金属薄片,所述针体的纵截面呈T型结构;所述针体的下部为外螺纹段;所述连接底座的座体顶、底两面均呈十字形,其顶、底两面的四角末端对称均布有上下贯通的顶针连接孔,每个所述顶针连接孔内垂直连接一顶针。
【技术特征摘要】
1.一种托载晶圆用的顶针连接底座,包括顶针针体、顶针针体连接底座的座体,其特征在于,所述顶针针体的顶部一体设有圆形金属薄片,所述针体的纵截面呈T型结构;所述针体的下部为外螺纹段;所述连接底座的座体顶、底两面均呈...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄惠良,朱伟冬,
申请(专利权)人:上海鸿辉光通科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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