一种晶圆生产用的甩干机密封圈制造技术
A dry secret sealing ring for wafer production
The utility model discloses a dry secret seal ring for the production of wafer, including the seal ring body, and the section of the seal ring body is in a bow shape. The dry and classified sealing ring for the wafer production with the bow section section can be effectively ensured by the utility model, and the sealing performance of the sealing ring can be effectively guaranteed, the deformation probability of the sealing ring can be reduced, and the crumbs produced after the expansion of the sealing ring can be reduced.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆生产用的甩干机密封圈
本技术属于PLC晶圆生产
，涉及晶圆生产用的甩干机，尤其是一种晶圆生产用的甩干机密封圈。
技术介绍
在PLC晶圆生产中，甩干机作为CLEAN工艺(湿法清洗工艺)的最后一道工序所用设备，其所起到的作用非常重要，直接关乎到产品的最终质量。在晶圆被甩干的过程中，甩干机的密封圈通氮气后，密封圈便会随之膨胀，以使甩干机形成真空状态。然而，实践表明，现有技术中，用于甩干机的矩形断面密封圈1'，如图1、2所示，经长期使用后容易产生变形，并随之膨胀形成粉末碎屑，因此而直接影响到甩干机的密封效果，导致晶圆的异物率上升，产品合格率大幅降低。为此，业内人士迫切期待对甩干机密封圈的结构加以改进，以有效地增强甩干机密封圈的密封性，减少密封圈膨胀后所产生的碎屑。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足或缺陷，提供一种晶圆生产用的甩干机密封圈，保证甩干机密封圈的密封性，降低密封圈的变形概率，减少密封圈碎屑的产生。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆生产用的甩干机密封圈，包括密封圈本体，其特征在于，所述密封圈本体的断面呈弓形。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本技术涉及的晶圆生产用的甩干机密封圈由于其断面呈弓形，与以往的矩形断面密封圈相比，可有效地保证甩干机密封圈的密封性，降低密封圈的变形概率，减少密封圈碎屑的产生。附图说明图1是现有技术中晶圆生产用的甩干机采用的密封圈主视结构示意图；图2是图1中A-A线的剖面放大结构示意图；图3是本技术涉及的晶圆生产用的甩干机密封圈主视结构示意图；图4是图3中B-B线的剖面放大结构示意图。具体实...
【技术保护点】
一种晶圆生产用的甩干机密封圈，包括密封圈本体，其特征在于，所述密封圈本体的断面呈弓形。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产用的甩干机密封圈，包括密封圈...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄惠良，龚武斌，
申请(专利权)人：上海鸿辉光通科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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