折射率可调的金属介质复合光学薄膜制造技术

一种折射率可调的金属介质复合光学薄膜，所述复合光学薄膜包括金属条带和介质条带；其中，所述金属条带与所述介质条带交替排列，形成周期性结构，相邻金属条带与位于相邻金属条带之间的介质条带形成金属‑介质‑金属波导结构。本发明专利技术的折射率可调的金属介质复合光学薄膜折射率可以调节、工作波段可以调节、导电性良好。

【技术实现步骤摘要】
折射率可调的金属介质复合光学薄膜
本专利技术属于光学器件
，具体涉及一种折射率可调的金属介质复合光学薄膜。
技术介绍
光学薄膜技术发展至今已经非常成熟，并且已经广泛应用于从日常生活到工业生产再到前沿科学研究的各个方面。其最常见的用途包括增反、抗反、滤波、透明电极等。常规光学薄膜的折射率是确定的数值，无法进行灵活的调节。而很多应用场景对光学薄膜的折射率有着严格的要求。这就导致常规光学薄膜无法满足一些应用场景的需求，转而需要以更复杂的解决方案来实现相应的功能。比如，理想的空气-介质界面上的抗反射光学薄膜只需要一层折射率为空气与介质折射率乘积的平方根，同时厚度为该折射率下四分之一工作波长的光学薄膜即可。但是很难找到能够满足相应折射率需要的光学薄膜。于是目前常见的抗反、增反、滤波光学薄膜都是由不同折射率的多层光学膜组合成特定的光学膜系来实现。这样不但增大了设计难度，而且提高了了制造成本。另一方面，在光电子器件中通常需要用介质光学薄膜来实现增反或者增透的功能，同时需要利用导电薄膜来实现电流扩展与电流收集的功能。而常规光学薄膜不具有导电特性，导电薄膜又不具备光学薄膜透明的特性，少数透明电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种折射率可调的金属介质复合光学薄膜，其特征在于，所述复合光学薄膜包括金属条带和介质条带；其中，所述金属条带与所述介质条带交替排列，形成周期性结构，相邻金属条带与位于相邻金属条带之间的介质条带形成金属‑介质‑金属波导结构。

【技术特征摘要】
1.一种折射率可调的金属介质复合光学薄膜，其特征在于，所述复合光学薄膜包括金属条带和介质条带；其中，所述金属条带与所述介质条带交替排列，形成周期性结构，相邻金属条带与位于相邻金属条带之间的介质条带形成金属-介质-金属波导结构。2.根据权利要求1所述的折射率可调的金属介质复合光学薄膜，其特征在于，所述金属条带与所述介质条带都是矩形条带。3.根据权利要求1所述的折射率可调的金属介质复合光学薄膜，其特征在于，所述金属条带和所述介质条带的宽度均小于工作波长，为亚波长量级。4.根据权利要求1所述的折射率可调的金属介质复合光学薄膜，其特征在于，所述金属-介质-金属波导在工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦欣，胡晓斌，李健，宋国峰，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11