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折射率可调的金属介质复合光学薄膜制造技术
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文档序号:17703715
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一种折射率可调的金属介质复合光学薄膜,所述复合光学薄膜包括金属条带和介质条带;其中,所述金属条带与所述介质条带交替排列,形成周期性结构,相邻金属条带与位于相邻金属条带之间的介质条带形成金属‑介质‑金属波导结构。本发明的折射率可调的金属介质复...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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