一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头制造技术

一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件上的转动接头，在转动接头的外部套设有保护衬套，且转动接头与保护衬套之间通过相配合的凸台和凹槽实现两者的同步转动；保护衬套外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套内，且在压头轴套上设置有顶紧螺栓，通过拧动顶紧螺栓，使保护衬套受到挤压并与转动接头紧密配合。本新型通过在转动接头和硅片抛光机的压头轴套之间设置保护衬套，而后利用顶紧螺栓挤压保护衬套进而与转动接头面摩擦接触，从而消除了螺栓对旋转接头的作用力矩，达到保护内压旋转接头的目的；为减少保护衬套对旋转接头的磨损，保护衬套的材质一般选用PVC、PP或PVDF等塑料来制造。

An anti wear internal pressure rotary joint for silicon wafer polishing machine

Anti wear pressure rotary joint for a silicon wafer polishing machine, comprises a rotating part of the rotary joint, the protective sleeve is arranged outside the rotary joint, and rotate the synchronous rotation between the connector and the protective sleeve boss and a groove by matching to achieve both protection wall bushing; head sleeve is nested in the silicon wafer polishing machine, and a fastening bolt is arranged on the pressing head sleeve, bolt by screwing, the protective sleeve is squeezed together with the rotary joint. This model through the protection of the lining is arranged between the pressure head sleeve rotary joint and wafer polishing machine, and then use the fastening bolts of the protective sleeve and extrusion rotary joint surface contact, thereby eliminating the effect of bolt torque of the rotating joint, to achieve the purpose of pressure rotary joint protection; protection to reduce the wear bushing of the rotating joint the protective sleeve material generally used, PVC, PP or PVDF plastics manufacturing.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头
本技术涉及到半导体制造领域用的硅片抛光机，具体的说是一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头。
技术介绍
有蜡工艺的抛光硅片生产所使用的抛光机中，有一种加内压装置所使用的旋转接头。该零件在使用中由定位螺栓直接插入其定位槽中。长期使用后，两者之间发生摩擦致使内压旋转接头的定位槽壁磨损处凹坑，定位螺栓与凹坑作用后使内压旋转接头产生一个垂直于旋转平面的力矩，严重的话会造成旋转接头的连接螺纹处的损坏甚至折断而被破坏。
技术实现思路
为解决现有硅片抛光机内压旋转接头长时间使用导致的连接螺纹处损坏甚至折断的问题，本技术提供了一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，通过在转动接头和硅片抛光机的压头轴套之间设置保护衬套，而后利用顶紧螺栓挤压保护衬套进而与转动接头面摩擦接触，从而消除了螺栓对旋转接头的作用力矩，达到保护内压旋转接头的目的；为减少保护衬套对旋转接头的磨损，保护衬套的材质一般选用PVC、PP或PVDF等塑料来制造。本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件上的转动接头，在转动接头的外部套设有保护衬套，且转动接头与保护衬套之间通过相配合的凸台和凹槽实现两者的同步转动；所述保护衬套外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套内，且在压头轴套上设置有顶紧螺栓，通过拧动顶紧螺栓，使保护衬套受到挤压并与转动接头紧密配合。本技术中，所述凹槽设置在转动接头的上部，且与转动接头的轴向平行设置，其一端延伸至转动接头的顶部形成开口，以使设置在保护衬套内壁的凸台能够沿该开口卡入凹槽内。本技术中，所述凸台的长度为保护衬套高度的一半，其宽度略小于凹槽的宽度，以使其与凹槽形成间隙配合，凸台的高度不超过凹槽的深度。本技术中，所述转动接头与保护衬套之间为间隙配合，以通过顶紧螺栓实现转动接头与保护衬套的摩擦面接触。本技术中，所述顶紧螺栓设置在保护衬套的上部。有益效果：本新型通过在转动接头和硅片抛光机的压头轴套之间设置保护衬套，而后利用顶紧螺栓挤压保护衬套进而与转动接头面摩擦接触，从而消除了螺栓对旋转接头的作用力矩，达到保护内压旋转接头的目的；为减少保护衬套对旋转接头的磨损，保护衬套的材质一般选用PVC、PP或PVDF等塑料来制造。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的俯视图；附图标记：1、转动部件，2、转动接头，201、凹槽，3、保护衬套，301、凸台，4、压头轴套，5、顶紧螺栓。具体实施方式如图所示，一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件1上的转动接头2，在转动接头2的外部套设有保护衬套3，且转动接头2与保护衬套3之间通过相配合的凸台301和凹槽201实现两者的同步转动；所述保护衬套3外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套4内，且在压头轴套4上设置有顶紧螺栓5，通过拧动顶紧螺栓5，使保护衬套3受到挤压并与转动接头2紧密配合。以上为本技术的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：如，所述凹槽201设置在转动接头2的上部，且与转动接头2的轴向平行设置，其一端延伸至转动接头2的顶部形成开口，以使设置在保护衬套3内壁的凸台301能够沿该开口卡入凹槽201内；又如，所述凸台301的长度为保护衬套3高度的一半，其宽度略小于凹槽201的宽度，以使其与凹槽201形成间隙配合，凸台301的高度不超过凹槽201的深度；再如，所述转动接头2与保护衬套3之间为间隙配合，以通过顶紧螺栓5实现转动接头2与保护衬套3的摩擦面接触；最后，所述顶紧螺栓5设置在保护衬套3的上部。下面结合附图对本技术做进一步的阐述：本技术中保护衬套3是一个内部有凸台301的圆管，凸台301的长度占圆管长度的一半，另一半的圆管内部光滑，没有凸台。圆管内圆稍大于要保护的转动接头2的直径，其凸台301的宽度则略小于转动接头2上的凹槽201，以保证保护衬套3内部的凸台301能够对准转动接头2上的凹槽201安放进去。保护衬套3的外径尺寸要略小于抛光机的压头轴套4的内径，以保证将套上保护衬套3的转动接头2可装入抛光机的压头轴套4内；顶紧螺栓5安装在压头轴套4内并向内旋入时，压紧保护衬套3并将其固定在抛光机的压头轴套4内。因保护衬套3内的凸台301卡入了转动接头2的凹槽201内，转动接头2的上部（接管部分）就不能随其下部转动部件1旋转。又因为顶紧螺栓5并不直接作用在转动接头2上，而是作用在了保护衬套3上，保护衬套3所受到顶紧螺栓5的力与对面抛光机压头轴套4侧壁的挤压力平衡，使保护衬套3除了凸台301与转动接头2之间在旋转平面内有作用力外，没有了垂直于旋转平面的力矩，故此转动接头2的下部连接到转动部件1的部分不易受力折断，从而得到了保护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件（1）上的转动接头（2），其特征在于：在转动接头（2）的外部套设有保护衬套（3），且转动接头（2）与保护衬套（3）之间通过相配合的凸台（301）和凹槽（201）实现两者的同步转动；所述保护衬套（3）外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套（4）内，且在压头轴套（4）上设置有顶紧螺栓（5），通过拧动顶紧螺栓（5），使保护衬套（3）受到挤压并与转动接头（2）紧密配合。

【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，包括设置在转动部件（1）上的转动接头（2），其特征在于：在转动接头（2）的外部套设有保护衬套（3），且转动接头（2）与保护衬套（3）之间通过相配合的凸台（301）和凹槽（201）实现两者的同步转动；所述保护衬套（3）外壁嵌套在硅片抛光机的压头轴套（4）内，且在压头轴套（4）上设置有顶紧螺栓（5），通过拧动顶紧螺栓（5），使保护衬套（3）受到挤压并与转动接头（2）紧密配合。2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机用防磨损内压旋转接头，其特征在于：所述凹槽（201）设置在转动接头（2）的上部，且与转动接头（2）的轴向平行设置，其一端延伸至转动接头（2）的顶部形成开口，以使设置在保...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛海涛，孟娟峰，张博，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41