一种高压低温条件下的多层薄膜电磁特性的测量方法技术
A method for measuring the electromagnetic properties of multilayer thin films under high pressure and low temperature conditions
The present invention relates to the measurement field of PVT and thin film material properties, measurement method of electromagnetic characteristics of a multilayer thin film with high pressure and low temperature conditions, the gasket is placed on the washer frame, four corners with silver glue outside of one end of the four thread respectively with four electrodes fixed, medial end connected to the sample the conductive layer is fixed; the cylindrical boss is heated to about 60 degrees Celsius, and the convex part of the sample driven cylindrical boss at the top of the detachment, the washer transferred to the pressure test device under anvil; the washer and a lower anvil, under the support of Taiwan, gas pressure unit is installed outside the top anvil the cylinder, the top mounted anvil outer cylinder from the lower opening and sealing, adjust the clamping screw to anvil preliminary pressed; the sample cavity integrated into a magnetic measuring device, the surface and the cold source under the base of direct contact. The sample is cooled; the high-pressure helium is filled into the gas pressure unit by the tube and the pressure is applied to the anvil; the electromagnetic properties of the sample are measured.
【技术实现步骤摘要】
一种高压低温条件下的多层薄膜电磁特性的测量方法
本专利技术涉及高压物性测量及薄膜材料特性测量领域，是一种以高压氦气作为驱动气体来对顶砧施压的、样品的热量分布更均匀、能够使得薄膜样品中导电层与电极可靠连接的一种高压低温条件下的多层薄膜电磁特性的测量方法。
技术介绍
顶砧是目前唯一能够产生百万大气压以上静态压力的科学实验装置，在高压科学研究中不可替代，顶砧的工作原理是利用一对具有极小台面(一般直径在几十微米量级)的高硬度材料通过机械方式挤压样品而产生高压环境，在两个台面形成的挤压面之间放置预先加工有样品孔的金属垫圈，样品放置在样品孔中。在实验过程中需要对样品受到的压强进行监测，目前一般的压强测试方法通常使用红宝石荧光谱的方法，需要将一块红宝石与样品一起置于顶砧的样品室内，同时收集其发出的荧光。现有技术存在的缺陷是，在某些在极低温条件下测量材料磁性特性的装置中，空间较小，因此对顶砧有体积上的限制，因此现有技术中为了满足体积上的设计需求通常以降低顶砧的某些性能参数为代价，如压力范围、温度均匀性等。用于给顶砧施加压力的结构大多是通过机械方式如螺丝螺纹结构、液压结构等等，其在...
【技术保护点】
一种高压低温条件下的多层薄膜电磁特性的测量方法，装置主要包括由顶砧外筒(1)、上支撑台(2)、上顶砧(3)、套筒(4)、垫圈(5)、样品(6)、下顶砧(7)、下支撑台(8)、气体压力单元(9)、底座(10)、压紧螺丝(11)、导气管(12)、光纤(13)组成的样品腔、金线(14)、电极(15)、垫圈架(16)、圆柱凸台(17)、限位螺丝(18)、调平台(19)，顶砧外筒(1)为下方开口的圆柱形筒、且其开口能够用底座(10)密封，上支撑台(2)固定于顶砧外筒(1)内的上表面，上顶砧(3)固定于上支撑台(2)下表面，上顶砧(3)的压力接触面上具有厚度100nm的金电极；套筒(4...
【技术特征摘要】
1.一种高压低温条件下的多层薄膜电磁特性的测量方法，装置主要包括由顶砧外筒(1)、上支撑台(2)、上顶砧(3)、套筒(4)、垫圈(5)、样品(6)、下顶砧(7)、下支撑台(8)、气体压力单元(9)、底座(10)、压紧螺丝(11)、导气管(12)、光纤(13)组成的样品腔、金线(14)、电极(15)、垫圈架(16)、圆柱凸台(17)、限位螺丝(18)、调平台(19)，顶砧外筒(1)为下方开口的圆柱形筒、且其开口能够用底座(10)密封，上支撑台(2)固定于顶砧外筒(1)内的上表面，上顶砧(3)固定于上支撑台(2)下表面，上顶砧(3)的压力接触面上具有厚度100nm的金电极；套筒(4)为一圆柱体的侧面，且其上端固定于上支撑台(2)的下面、下端套于下支撑台(8)外围，下支撑台(8)的下面连接有气体压力单元(9)，下顶砧(7)固定于下支撑台(8)上表面，下支撑台(8)能够沿套筒(4)轴线方向移动，气体压力单元(9)与底座(10)之间的距离能够通过压紧螺丝(11)调节；垫圈架(16)为环状结构、其中心具有直径1毫米的通孔，固定于调平台(19)上方，在将样品(6)与垫圈(5)上的电极(15)连接时，垫圈(5)置于垫圈架(16)内；电极(15)为边长1毫米的正方形且共有四块，电极(15)以垫圈(5)中心对称分布地沉积在垫圈(5)的上表面，样品(6)为边长400微米的正方形、其四个角通过金线(14)分别与四个电极(15)相连接，金线(14)与样品(6)及电极(15)均通过银胶固定，气体压力单元(9)能够随着其内部气体压强的改变而在竖直方向膨胀或收缩，底座(10)下部直接与材料磁性测量系统中的冷源相接触，导气管(12...
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