基板承载装置及烘烤设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基板承载装置，包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构，所述升降机构与承载架一一对应设置，升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。本发明专利技术还提供了一种烘烤设备，包括烘烤室，所述烘烤室内设有所述的基板承载装置，所述烘烤室设有基板进入口，所述升降机构设于烘烤室与基板进入口相对的一侧内壁上。与现有技术相比，通过设置与承载架一一对应设置的升降机构，实现相邻两层承载架的间距可调节，满足机器人手臂的交换片所需空间高度的要求；同时还可以使烘烤设备中放置的基板数量提高，从而提高设备的产能，降低设备的采购成本以及占地空间。

【技术实现步骤摘要】
基板承载装置及烘烤设备
本专利技术涉及一种显示面板生产技术，特别是一种基板承载装置及烘烤设备。
技术介绍
基板的生产中，对于高温制程，为了提高设备产能(capa)，业内通常采用烤炉(Furnace)类型设备进行烘烤。但是受限于设备高度的限制，烘烤室(Chamber)可以容纳的基板数量受到限制。目前，烘烤室内基板承载架均为固定式，每层基板承载架需满足机器人手臂交换片的空间高度要求，因此，在设计时，相邻两层基板承载架之间间隙较大，从而满足机器人手臂交换片的空间要求，这样导致每个烘烤室可容纳基板的数量较少，造成设备产能较低。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种基板承载装置及烘烤设备，使得能够自由调节相邻两层基板承载架之间间距，从而在不影响机器人手臂交换片的空间要求下，提高产能。本专利技术提供了一种基板承载装置，包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构，所述升降机构与承载架一一对应设置，升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。进一步地，还包括控制器，所述控制器与升降机构连接并对升降机构的启停进行控制。进一步地，每层承载架上设有用于获知与相邻承载架距离的传感器，传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板承载装置，其特征在于：包括多层承载架(1)以及与承载架(1)连接驱动的升降机构(2)，所述升降机构(2)与承载架(1)一一对应设置，升降机构(2)用于调节每层承载架(1)与相邻承载架(1)之间的间距。

【技术特征摘要】
1.一种基板承载装置，其特征在于：包括多层承载架(1)以及与承载架(1)连接驱动的升降机构(2)，所述升降机构(2)与承载架(1)一一对应设置，升降机构(2)用于调节每层承载架(1)与相邻承载架(1)之间的间距。2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：还包括控制器(3)，所述控制器(3)与升降机构(2)连接并对升降机构(2)的启停进行控制。3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于：每层承载架(1)上设有用于获知与相邻承载架(1)距离的传感器(4)，传感器(4)与控制器(3)连接。4.根据权利要求1-3任意一项所述的基板承载装置，其特征在于：所述升降机构(2)为直线电机，所述直线电机具有动子座(5)，所述承载架(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋天鹏，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42