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本发明提供了一种基板承载装置,包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构,所述升降机构与承载架一一对应设置,升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。本发明还提供了一种烘烤设备,包括烘烤室,所述烘烤室内设有所述的基板承载装置,所述...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种基板承载装置,包括多层承载架以及与承载架连接驱动的升降机构,所述升降机构与承载架一一对应设置,升降机构用于调节每层承载架与相邻承载架之间的间距。本发明还提供了一种烘烤设备,包括烘烤室,所述烘烤室内设有所述的基板承载装置,所述...