高纯砷的脱氧装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置，所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘器，所述脱氧炉包括炉体、包覆在炉体外的一加热套以及一进气管，所述炉体两侧包括可开关的第一舱门和第二舱门，所述第一舱门为脱氧炉、手套箱共用，所述除尘器通过另一气流管道与尾气处理装置直接连接。采用本发明专利技术高纯砷的脱氧装置及方法，所制备得到的高纯砷的分析结果显示，脱氧后产品氧含量小于1ppm，达到产品要求，所制备得到的脱氧后高纯砷在手套箱中完成包装，颜色呈现闪亮的金属光泽。

Deoxidizing device and method for high purity arsenic

The invention relates to a deoxidizing device of high purity arsenic, the deoxidizing device comprises a deoxidizing furnace, the deoxidizing device also comprises a glove box, and the furnace door and a deoxidation deoxidation furnace through a vacuum pump and a flow pipe connection is connected with the vacuum pump through the air pipe of a tail gas treating unit. A dust collector is arranged between the deoxidation furnace and vacuum pump, the deoxidation furnace comprises a furnace body, a heating furnace body coated on the sleeve and an air inlet pipe, both sides of the furnace body comprises a first switch door and second door, the first door for removal of oxygen furnace, sharing the glove box, ESP directly connected through another air pipe and exhaust gas treatment device. The deoxidization device and the method of the invention of high purity arsenic, the analysis of high purity arsenic results obtained showed that the oxygen content of the product after deoxidation is less than 1ppm, meet the requirements of the products, the DNA prepared by high purity arsenic finished packing in the glove box, color shiny metallic luster.

【技术实现步骤摘要】
高纯砷的脱氧装置及方法
本专利技术涉及高纯砷的制备领域，尤其涉及一种高纯砷的脱氧装置及方法。
技术介绍
高纯砷是合成砷化镓化合物、砷化铟化合物、硒化砷化合物等的主要原料。广泛应用于集成电路，光伏太阳能发电技术，霍尔元件等领域。近年来随着高新技术产业的发展，高纯砷的应用领域日益广泛。按照纯度的不同，高纯砷可分为6N、7N、7N+产品，随着纯度的不断提高，性能也越来越好，但是高纯砷有一个共性——非常容易被氧化，而且纯度越高，越容易被氧化。这使得高纯砷的生产、破碎、保存的过程中均存在被氧化的风险。一旦高纯砷产品被氧化，其表面就会变暗发黑，从而影响产品的性能，需要重新加工增加成本，甚至导致产品报废。因此，有必要设计一种高纯砷的脱氧装置及方法，用较低的成本将被氧化的高纯砷脱氧。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述技术问题，利用砷氧化物的低沸点，结合真空的作用及氢气的还原作用，提供一种被氧化高纯砷的脱氧装置及方法。为实现前述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，其特征在于：所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置，所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘器，所述脱氧炉包括炉体、包覆在炉体外的一加热套以及一进气管，所述炉体两侧包括可开关的第一舱门和第二舱门，所述第一舱门为脱氧炉、手套箱共用，所述除尘器通过另一气流管道与尾气处理装置直接连接。

【技术特征摘要】
1.一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，其特征在于：所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置，所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘器，所述脱氧炉包括炉体、包覆在炉体外的一加热套以及一进气管，所述炉体两侧包括可开关的第一舱门和第二舱门，所述第一舱门为脱氧炉、手套箱共用，所述除尘器通过另一气流管道与尾气处理装置直接连接。2.根据权利要求1所述的高纯砷的脱氧装置，其特征在于：所述炉体采用石英制备而成。3.一种高纯砷的脱氧方法，其特征在于：采用权利要求1所述的高纯砷的脱氧装置，脱氧方法包括如下步骤：S1、将被氧化的高纯砷原料用石英舟或包装瓶装好，再将石英舟或包装瓶转入到脱氧炉中；S2、用真空泵将脱氧炉炉体的绝对真空度抽到小于20Pa并维持10~90min；S3、脱氧炉炉体内开始升温，升温到250~450℃并恒温1~15小时；S4、从高纯砷表面分离的砷氧化物随着气流，一部分沉积在脱氧炉炉体的另一端，另一部分被加装在气流管道上的气体除尘器收集；S5、反应结束后，停止加热，待脱氧炉炉体温度降低至室温，停止抽真空，在惰性气体保护下，开炉出料包装。4.根据权利要求3所述的高纯砷的脱氧方法，其特征在于：S3在升温前还包括S31：关闭真空泵，向脱氧炉炉体中以一定流量通入氢气。5.根据权利要求4所述的高纯砷的脱氧方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾小东，刘留，朱刘，郭金伯，陈昭龙，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44