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本发明提出一种高纯砷的脱氧装置，所述脱氧装置包括一脱氧炉，所述脱氧装置还包括与脱氧炉共用一舱门的一手套箱、与脱氧炉通过一气流管道连接的一真空泵以及与真空泵通过气流管道连接的一尾气处理装置，所述脱氧炉与真空泵之间设有一除尘器，所述脱氧炉包括炉...
该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。

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