A cantilever probe for hollow micro nano scale material delivery and extraction, hollow cantilever probe, flat cube structure, which comprises a cantilever funnelform tubular beam probe and cantilever beam and probe the internal hollow and communicated to transport material, namely the one end of the cantilever beam end, probe the tip opening end end, by applying positive pressure or negative pressure in the beginning, from the end suction or delivery of material to the surface of the sample. With the help of MEMS technology, the new cantilever structure and the probe can be properly reconstructed, and the new structure with the function of material delivery and extraction can be obtained. The hollow cantilever probe with the combined structure of the cantilever beam and the probe with the conveying channel will be achieved. The invention reflects the surface morphology information of the specimen by attracting or rejecting the surface of the sample.
【技术实现步骤摘要】
用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针
本专利技术涉及的是一种微纳米领域的技术,具体是一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针,实现微纳尺度的物质投送及提取。
技术介绍
原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM)作为物体表面结构的分析仪器,依靠微型力敏元件与样品表面发生原子级的相互作用,并通过传感器将之转化为可检测与处理的电信号,实现了对样品表面形貌及性质的观测;其分辨率可精至纳米级、能提供三维表面图、且不要求真空的实验环境或对样品做特殊处理,已在生物技术、转化医学等工业与研究领域得到广泛应用。原子力显微镜的核心部分是其作为力敏元件的悬臂梁与探针,此部分亦决定了机器整体的使用性能及具体工作模式。微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)是微电子技术与微加工技术的结合,在微纳尺度上制作与加工机械结构;其成熟的体微机械加工技术可选择性地以腐蚀剂去除衬底、取得具有特定形貌的微机械元件,从其面向的尺度及适用的材料上来说都是制作原子力显微镜悬臂梁与探针部分的理想工艺。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的上述不足,提出一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针,以MEMS技术对传统悬臂梁与探针施以恰当改造,则可取得具有物质投送及提取功能的新结构,即将带有输送通道的悬臂梁与探针的组合结构“中空悬臂探针”。本专利技术通过与试样表面相吸引或排斥而反映出试样的表面形貌信息,简言之即观测;为了在既有原子力显微镜观测功能的基础上实现相应尺度的物质投送及提取。本专利技术是通过以下技术方案实现的:本专利技术 ...
【技术保护点】
一种中空悬臂探针,其特征在于,为扁立方体结构,由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成,其中:悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质。
【技术特征摘要】
1.一种中空悬臂探针,其特征在于,为扁立方体结构,由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成,其中:悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质。2.一种根据权利要求1所述的中空悬臂探针的应用,其特征在于,以悬臂梁的一端为始端、探针的针尖开口一端为末端,通过在始端施加正压或负压,实现从末端吸入或投送物质至试样表面。3.一种根据权利要求1或2中所述的中空悬臂探针的制备方法,其特征在于,通过在基底表面通过各向异性腐蚀得到带有悬臂梁的四棱锥形凹洞,然后将一覆盖层置于凹洞上方并进行低温氧化沉积,最后去除凹洞底部多余基底并以光刻蚀工艺弭去凹洞洞口及悬臂梁另一端,得到中空悬臂探针。4.根据权利要求3所述的方法,其特征是,所述的各向异性腐蚀,具体是指:在基底表面以反应离子...
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