The utility model provides a MEMS chip, which comprises a substrate and a supporting plate on a substrate, a containing space formed between the substrate and the electrode, also includes a free set in the accommodating space of the sensitive film, the sensitive film and the plate constitutes a capacitor in the accommodating structure; within the space of a column, the column spacing through the sensitive membrane, by defining the direction of vibration sensitive membrane. The utility model has the advantages of the MEMS chip, the limit column settings, the sensitive film can limit along the column under vibration, and the limit of the horizontal swing a column can effectively prevent the sensitive film in the vibration process, prevent the sensitive film distortion due to large amplitude, improve the service life of the MEMS chips.
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS芯片
本技术涉及微机电
,更具体地,本技术涉及一种MEMS芯片。
技术介绍
传统的MEMS麦克风芯片包括衬底以及固定在衬底上的敏感膜和极板,敏感膜和极板之间具有一定的间隙,使得敏感膜与极板之间可以构成平板电容器结构。由于敏感膜固定连接在衬底上,在受到冲击时(例如吹气、机械冲击和跌落),敏感膜容易弯曲变形,造成破损。为了解决该技术问题,人们提出了将敏感膜自由设置在由极板和衬底围合形成的容置空间内。通过这种方式,敏感膜不再受到拉伸力。在受到外界冲击时,整个敏感膜的形变大大减小,提高了耐用性。然而,由于敏感膜的尺寸小于容置空间的横截面积,故敏感膜在振动时容易左右摆动,这样会导致振动效果差,并且在大振幅下敏感膜容易发生扭曲,甚至落入背腔中。另外,这种自由振膜在释放的时候需要严格控制其应力的释放。例如采用在振膜上开缝、做纹膜结构等方法来降低应力,这些方法也只是从某种程度上释放一部分应力,无法完全释放。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供了一种MEMS芯片的新技术方案。根据本技术的一个方面,提供一种MEMS芯片,包括衬底,以及支撑在衬底上的极板,所述衬底与所述极板之间形成容纳空间,还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜,所述敏感膜与极板构成了电容器结构;在所述容纳空间内设置有限位柱,所述限位柱穿过所述敏感膜,以限定所述敏感膜的振动方向。可选地,在所述敏感膜上设置有用于使所述限位柱穿过的过孔。可选地,所述过孔与限位柱的外壁之间具有用于释放敏感膜内应力的间隙。可选地,在所述敏感膜上设置有供限位柱穿过的缺口,所述缺口贯通至敏感膜的边缘。可选地,所述缺口与限位柱 ...
【技术保护点】
一种MEMS芯片,其特征在于,包括衬底(11),以及支撑在衬底(11)上的极板(14),所述衬底(11)与所述极板(14)之间形成容纳空间,还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜(13),所述敏感膜(13)与极板(14)构成了电容器结构;在所述容纳空间内设置有限位柱(17),所述限位柱(17)穿过所述敏感膜(13),以限定所述敏感膜(13)的振动方向。
【技术特征摘要】
2017.03.09 CN 20172022762311.一种MEMS芯片,其特征在于,包括衬底(11),以及支撑在衬底(11)上的极板(14),所述衬底(11)与所述极板(14)之间形成容纳空间,还包括被自由设置在所述容纳空间中的敏感膜(13),所述敏感膜(13)与极板(14)构成了电容器结构;在所述容纳空间内设置有限位柱(17),所述限位柱(17)穿过所述敏感膜(13),以限定所述敏感膜(13)的振动方向。2.根据权利要求1所述的MEMS芯片,其特征在于,在所述敏感膜(13)上设置有用于使所述限位柱(17)穿过的过孔(18)。3.根据权利要求2所述的MEMS芯片,其特征在于,所述过孔(18)与限位柱(17)的外壁之间具有用于释放敏感膜(13)内应力的间隙。4.根据权利要求1所述的MEMS芯片,其特征在于,在所述敏感膜(13)上设置有供限位柱(17)穿过的缺口(19),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:李江龙,郝红蕾,王宇,张鑫鑫,
申请(专利权)人:歌尔科技有限公司,
类型:新型
国别省市:山东,37
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