The invention discloses a flexible stretchable electromagnetic wave absorbing structure, which is characterized in that it comprises an elastic substrate layer, the elastic substrate layer includes a first surface and a second surface opposite to the first surface; the first surface of the nano structure, nano structure is arranged on the elastic base material layer; the metal layer. The first surface is positioned on the elastic base material layer, and the metal layer covering the nano structure. The invention of the flexible stretchable electromagnetic wave absorbing structure with elastic film, with excellent flexibility and tensile strength, in the realization of small periodic nano structure preparation, compared with traditional photolithography or e-beam lithography, more universality and easy preparation; by changing the tension of oxygen ion bombardment by pure physical. Sub wavelength nanostructure, provides a kind of exploration method in small periodic nano structure preparation process.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构及其制备方法
本专利技术涉及电磁波吸收领域,尤其涉及一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构及其制备方法。
技术介绍
电磁波吸收结构的探索引起了科研人员的广泛关注,在毫米波、微波、红外及可见光波段的吸收,使其应用领域越来越宽阔,包括探测、能源、航空、通信、光伏、印刷等行业。针对不同波段的吸收,其吸收结构尺寸也是不同;例如,在可见光波段的吸收,其结构尺寸几乎需要亚波长尺度,这对于工艺难度要求很高,也限制了其具体的发展。可见光波段的吸收结构研究在光伏、光电池、探测、能源等方面的重要性引起了科研人员的高度热情。2014年,TunCao等人在ScientificReports上发表一篇可见光宽波段偏振不敏感完美吸收器,在基底上面覆盖Au和Ge2Sb2Te5连续膜层,Au方块阵列位于膜层之上,实现可见光宽波段的近完美吸收,其最高吸收效率达到96.8%;2016年,L.JayGuo等人提出了一种宽角度、偏振不敏感的超薄吸收器,在可见光范围,具有宽的吸收效率,且在共振波长处,最大吸收效率可至95.5%,其采用多层膜系结构,依次覆盖Ag、a-Si、Ag、a-Si,厚度均在几十纳米尺度。申请号为201510915402.9的一种可见光双向吸收体结构,通过在基底材料上制备二维纳米阵列单元,在二维纳米结构单元上蒸镀或溅射一层厚度为5-20nm的金属层,最后在金属层上蒸镀或溅射一层厚度为5-20nm的介质层,实现了可见光波段的宽吸收。授权公开号为CN101724811B的中国专利提出一种基于亚波长金属孔阵列的电磁吸收体,采用金属膜-亚波长介质柱-金属膜三层结构 ...
【技术保护点】
一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构,其特征在于,其包括:弹性基材层,所述弹性基材层包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面;纳米结构,所述纳米结构设于所述弹性基材层的第一表面;金属层,位于所述弹性基材层的第一表面,且所述金属层覆盖所述纳米结构。
【技术特征摘要】
1.一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构,其特征在于,其包括:弹性基材层,所述弹性基材层包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面;纳米结构,所述纳米结构设于所述弹性基材层的第一表面;金属层,位于所述弹性基材层的第一表面,且所述金属层覆盖所述纳米结构。2.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构,其特征在于,所述纳米结构的周期为200nm~500nm。3.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构,其特征在于,所述弹性基材层为为聚二甲基硅氧烷薄膜、丙烯酸薄膜、聚氨酯薄膜或高弹橡胶薄膜。4.根据权利要求1所述的一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构,其特征在于,所述金属层可以为镍、铬、锗或钨材料中至少一种。5.一种柔性可拉伸的电磁波吸收结构制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、提供具有周期为1000nm~5000nm纳米结构的基片;S2、在所述步骤S1的基础上制备具有周期为1000nm~5000nm纳米结构的弹性纳米结构膜;S3、制备周期为200nm~500nm纳米结构的弹性膜;S4、在周期为200nm~500nm纳米结构弹性膜上覆盖金属层,可制得柔性可拉伸的电磁波吸收结构。6.根据权利要求5所述的一种柔性可拉伸的电磁...
【专利技术属性】
技术研发人员:周云,陈林森,罗明辉,申溯,叶燕,刘艳花,
申请(专利权)人:苏州大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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