液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置制造方法及图纸

提供了能够抑制喷嘴板的浮起、剥离的液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置。具备：促动器板，其具有被填充墨水的吐出通道；副板(53A～53D)，其层叠于促动器板之中墨水流通方向上的吐出通道的‑Z方向端面，并且形成有与吐出通道内连通的连通路径；以及喷嘴板，其层叠于副板(53A～53D)之中流通方向上的连通路径的‑Z方向端面，且具有通过连通路径与吐出通道内连通的喷嘴孔，副板(53A～53D)中的‑Z方向端面为研磨面。

A method for making a liquid jet head, a liquid ejector head and a liquid ejector

A liquid ejection head, a method for making a liquid ejector head, and a liquid injection device that can suppress the floating and peeling of the nozzle plate, and the liquid ejector head are provided. Has the actuator plate, which has spit out the channel is filled with ink; side plate (53A ~ 53D), stacked to the actuator spit out Z along the channel end plate in ink circulation direction, and form a communication path is communicated with the spit in the channel; and the nozzle plate. The stacked on the sub board (53A ~ 53D) Z end connected path direction on the direction of circulation, and through a communication path and discharge nozzle hole communicated with the channel in the side plate (53A ~ 53D) Z end in the direction of the grinding surface.

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置
本专利技术涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置。
技术介绍
作为对被记录介质(例如记录纸等)吐出液滴状的墨水，以对被记录介质记录信息(图像、字符等)的装置，存在具备喷墨头的喷墨打印机。上述喷墨头具有头芯片和喷嘴板，头芯片具有被填充墨水的通道，喷嘴板接合于头芯片，且具有与通道内连通的喷嘴孔。在喷墨头中，通过吐出通道内的容积扩大缩小，通过喷嘴孔吐出填充在通道内的墨水。另外，公开了在喷嘴头中，为了实现高分辨率印刷、高速印刷等，将多个头芯片一同接合的构成(例如，参照下列专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第98/42514号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在上述喷墨头中，例如由于在头芯片的制造时施加的热等的影响，有可能在头芯片中的喷嘴板的接合面产生翘曲等。在该情况下，难以使头芯片的接合面为平滑面，例如，头芯片的接合面变为起伏的凹凸面。在头芯片的接合面形成为凹凸面的状态下，若将喷嘴板接合于头芯片的接合面，则成为喷嘴板的浮起、剥离的原因。特别是在近来，在上述专利文献1那样的层叠了多个头芯片的构成中，探讨相对于各个头芯片一起接合一片喷嘴板的构成。但是，在各头芯片的接合面形成为凹凸面的情况下，难以使喷嘴板跟随各头芯片的接合面，存在上述浮起、剥离更显著地发生的风险。本专利技术是考虑到此种情况而完成的，其提供能够抑制喷嘴板的浮起、剥离的液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的一种方式所涉及的液体喷射头具备：促动器板，其具有被填充液体的通道；副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径；以及喷射孔板，其层叠于所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面，且具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔，所述副板中的所述下游开口面为研磨面。根据该构成，通过研磨副板的下游开口面，能够使副板之中喷射孔板的层叠面为平滑面。由此，能够将喷射孔板可靠地层叠于副板，能够长期抑制喷射孔板的浮起、剥离。特别地，在本方式中，通过对设在喷射孔板和促动器板之间的副板进行研磨，与对促动器板进行研磨的情况不同，不会研磨在通道的内表面形成的驱动电极。因此，能够提高研磨工序中的加工性。另外，抑制在各促动器板的泵长(通道之中形成有驱动电极的部分的长度)中产生偏差。其结果，能够抑制各促动器板之间的吐出性能(频率特性等)的偏差。而且，在本方式中，由于如上所述不会研磨驱动电极，故能够重新研磨副板。即，假设在喷射孔板的贴合失败的情况下，能够在对副板进行再次研磨以去除附着于副板的粘接剂之后，再次层叠接合喷射孔板。因此，能够提高液体喷射头的成品率。在上述方式中，所述促动器板以及所述副板构成芯片模块，所述芯片模块排列有多个，所述喷射孔板一起接合于多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面也可。根据上述构成，通过相对于各芯片模块接合一片喷射孔板，与相对于各芯片模块接合不同的喷射孔板的情况相比较，能够减小各喷射孔的相对位置的偏差。特别是在本方式中，由于副板的下游开口面为研磨面，故能够将各芯片模块的下游开口面形成为平滑面。由此，能够相对于多个芯片模块可靠地接合喷射孔板，能够长期抑制喷射孔板的浮起、剥离。在上述方式中，从液体供给源对所述通道供给液体，所述副板是返回板，其使所述连通路径为连通于所述通道内以及所述喷射孔内并且液体朝所述液体供给源流通的返回路径也可。根据上述方式，通过将副板用作返回板，与和副板分开地设置返回板的情况相比，能够谋求部件件数的削减、制造效率的提高。在上述方式中，在所述返回路径中流通的液体的一部分朝与所述液体供给源连通的循环路径流通，所述返回路径之中与和所述喷嘴孔的连通部分相比位于所述循环路径侧的部分的流路截面积为所述通道中的所述下游开口面处的与所述流通方向正交的流路截面积以下也可。根据上述方式，能够使在液体的喷射时在通道内的液体中产生的压力波可靠地传播到喷射孔。因此，能够与通道的驱动对应地从喷射孔可靠地喷射液体。在上述方式中，所述促动器板和所述副板由同一材料形成也可。根据上述方式，能够缓和因促动器板和副板的热膨胀系数的不同而作用于促动器板和副板的应力。由此，能够抑制促动器板和副板剥离等情况。本专利技术的一个方式所涉及的液体喷射装置具备上述方式的液体喷射头。根据上述方式，由于具备上述方式的液体喷射头，故能够提供长期可靠性优秀的高品质的液体喷射装置。本专利技术的一种方式所涉及的液体喷射头的制造方法是如下液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头具备：促动器板，其具有被填充液体的通道；以及副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径，所述制造方法的特征在于，具有：研磨所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面的研磨工序；以及在所述副板的所述下游开口面层叠喷射孔板的层叠工序，所述喷射孔板具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔。根据该构成，通过如上所述地研磨副板的下游开口面，能够使副板之中喷射孔板的层叠面为平滑面。由此，能够将喷射孔板可靠地层叠于副板，能够长期抑制喷射孔板的浮起、剥离。在上述方式中，所述促动器板以及所述副板构成芯片模块，在所述研磨工序中，一起研磨多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面，在所述层叠工序中。将所述喷嘴孔板一起层叠于多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面也可。根据上述方式，通过在研磨工序中一起研磨多个芯片模块，能够抑制各芯片模块的副板的下游开口面的位置、形状的偏差。即，能够齐平地配置各副板的下游开口面，能够相对于各芯片模块可靠地层叠喷射孔板。专利技术效果根据本专利技术的一个方式，能够抑制喷射孔板的浮起、剥离。附图说明图1是第一实施方式所涉及的喷墨打印机的概要构成图。图2是第一实施方式所涉及的喷墨头的概要立体图。图3是在第一实施方式所涉及的喷墨头中，示出了第一芯片模块的放大截面图。图4是芯片接合工序的工序图。图5是芯片接合工序的工序图。图6是研磨工序的工序图。图7是研磨工序的工序图。图8是头组装工序的工序图。图9是第二实施方式所涉及的喷墨头的截面图。具体实施方式以下，参照附图说明本专利技术所涉及的实施方式。在以下实施方式中，举利用墨水(液体)对被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，简称为打印机)为例进行说明。此外，在以下的说明中使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。(第一实施方式)[打印机]图1是第一实施方式所涉及的打印机1的概要构成图。如图1所示，本实施方式的打印机1是一对运送机构2、3、扫描机构4、喷墨头5、墨水供给机构6等搭载在框体8内而构成的。此外，在以下的说明中，根据需要利用X、Y、Z的正交坐标系来进行说明。在该情况下，X方向与被记录介质P(例如，纸等)的运送方向一致。Y方向与扫描机构4的扫描方向一致。Z方向是与X方向以及Y方向正交的方向。在以下的说明中，在X方向、Y方向以及Z方向之中，将图中箭头方向作为正(+)方向，将与箭头相反的方向作为负(-)方向进行说明。运送机构2、3沿X方向运送被记录介质P。具体而言，运送机构2具备沿Y方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，其特征在于，具备：促动器板，其具有被填充液体的通道；副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径；以及喷射孔板，其层叠于所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面，且具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔，所述副板中的所述下游开口面为研磨面。

【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-1917151.一种液体喷射头，其特征在于，具备：促动器板，其具有被填充液体的通道；副板，其层叠于所述促动器板之中液体流通方向上的所述通道的下游开口面，并且形成有与所述通道内连通的连通路径；以及喷射孔板，其层叠于所述副板之中所述流通方向上的所述连通路径的下游开口面，且具有通过所述连通路径与所述通道内连通的喷射孔，所述副板中的所述下游开口面为研磨面。2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述促动器板以及所述副板构成芯片模块，所述芯片模块排列有多个，所述喷射孔板一起接合于多个所述芯片模块的所述副板的所述下游开口面。3.根据权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，从液体供给源对所述通道供给液体，所述副板是返回板，其使所述连通路径为连通于所述通道内以及所述喷射孔内并且液体朝所述液体供给源流通的返回路径。4.根据权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，在所述返回路径中流通的液体的一部分朝与所述液体供给源连通的循环路径流通，所述返回路径之中与和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：色川大城，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP