一种氢源装置以及氢原子频标制造方法及图纸
A hydrogen source and hydrogen atom frequency standard
The utility model provides a hydrogen source device, which comprises a silicon cavity and in the medium voltage state is encapsulated in the silicon hydrogen storage material cavity, the cavity is arranged on the silicon substrate to hydrogen maser to transport hydrogen source of export, the hydrogen storage materials for hydrogen storage material for adsorption of hydrogen in the supersaturated hydrogen environment after. The utility model provides a hydrogen atom frequency standard, which includes the hydrogen source device. The hydrogen source is miniaturized by the utility model, and hydrogen is recycled in the hydrogen atomic frequency standard, which realizes the closed loop micro system of the hydrogen source, and solves the shortcoming of the traditional open atom preparation system with low efficiency, and promotes the hydrogen atom frequency standard to achieve the chip level volume.
【技术实现步骤摘要】
一种氢源装置以及氢原子频标
本技术涉及氢原子频标领域，具体涉及一种氢源装置以及氢原子频标。
技术介绍
众所周知，时间或频率是基本物理量之一。试验证明，微观量子态的跃迁有稳定不变的周期性的信号，从而作为一种时间或频率计量的标准，即以原子微观运动的量子跃迁作为量子频率标准。精准的计时支撑着我们的日常生活，许多我们生活中依赖的技术比如手机、互联网、卫星导航系统都需要依赖于原子频标精准的计时。氢原子频标具有很高的短期和长期频率稳定度，目前，就几秒以上的取样时间的稳定度而言，氢原子频标是最优越的。氢源储氢的多少决定了氢原子频标的长期寿命，传统氢原子频标一般采用氢瓶储存液态氢气的方式，按照控制流量和使用寿命设计氢气储存量。为保证氢源的纯度，采用镍提纯器的方式对氢气进行提纯。氢源体积非常大，而且不适用于微电子机械系统(Micro-electromechanicalSystem，MEMS)，而随着微电子向纳电子技术的推进以及微电子机械系统超精细加工技术的发展，氢原子频标的微型化是必然趋势。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种氢源装置以及氢原子频标。本技术提供的一种氢源装置以...
【技术保护点】
一种氢源装置，用于向氢原子频标提供氢源，其特征在于，包括硅基腔以及在中压状态下封装在硅基腔中储氢材料，所述硅基腔上设有向氢原子频标输送氢源的出口，所述储氢材料为在过饱和氢气环境中吸附氢后的储氢材料。
【技术特征摘要】
1.一种氢源装置，用于向氢原子频标提供氢源，其特征在于，包括硅基腔以及在中压状态下封装在硅基腔中储氢材料，所述硅基腔上设有向氢原子频标输送氢源的出口，所述储氢材料为在过饱和氢气环境中吸附氢后的储氢材料。2.根据权利要求1所述的一种氢源装置，其特征在于，所述硅基腔上还设有从氢原子频标回收氢的入口。3.根据权利要求2所述的一种氢源装置，其特征在于，所述硅基腔的入口处设有压差改变装置，在所述硅基腔入口处，所述压差改变装置使硅基腔内部的压强小于硅基腔外部的压强。4.根据权利要求1所述的一种氢源装置，其特征在于，所述储氢材料包括非晶合金储氢材料和/或晶体合金储氢材料。5.根据权利要求4所述的一种氢源装置，其特征在于，所述非晶合金储氢材料为非晶合金Ti-...
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