硅片分片吸盘组件制造技术
Wafer slicing sucker assembly
The utility model discloses a silicon slice chuck assembly comprises a plurality of sucker and sucker fixing device, the sucker is fixed through the fixed device, the sucker is arranged in parallel, each sucker is provided with a plurality of hollow part of the hollow part, each equipped with a suction nozzle, the corner nozzle is connected with the sucker through spring hook, vertical arrangement of the adsorption surface formation and the hook of the spring swing track suction nozzle, a suction nozzle connected with a negative pressure source through a gas channel. When the sucker is used to adsorb silicon wafer, when the sucker is jitter, the hook spring can play a cushioning role, and reduce the collision momentum between the suction nozzle and the sucker, so as to protect the silicon wafer.
【技术实现步骤摘要】
硅片分片吸盘组件
本技术涉及硅片装卸
，具体涉及一种硅片分片吸盘组件。
技术介绍
花篮在硅片是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，现有工艺中有需求将一个花篮中位于一个凹槽中的两片硅片进行分片，而现有的硅片分片传送装置，如专利授权公告号为CN104609146的专利公开的硅片分片传送装置，均无法满足，均分为两组的要求。
技术实现思路
本是用新型要解决的技术问题是提供一种可将花篮或者料盒凹槽中两片重叠的硅片进行分片的吸盘组件。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是；一种硅片分片吸盘组件，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，所述吸盘通过固定装置进行固定，吸盘平行设置，每个吸盘上设置有若干个中空部，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸嘴通过气体通道连接负压气源。进一步的，每个挂钩弹簧以及吸嘴的吸附面均与吸盘平行设置。进一步的，所述吸盘固定装置包括一个顶板，顶板上设置有若干隔槽，吸盘的顶部插...
【技术保护点】
一种硅片分片吸盘组件，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，其特征在于：所述吸盘通过固定装置进行固定，吸盘平行设置，每个吸盘上设置有若干个中空部，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸嘴通过气体通道连接负压气源。
【技术特征摘要】
1.一种硅片分片吸盘组件，包括若干个吸盘以及吸盘固定装置，其特征在于：所述吸盘通过固定装置进行固定，吸盘平行设置，每个吸盘上设置有若干个中空部，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸嘴通过气体通道连接负压气源。2.根据权利要求1所述的硅片分片吸盘组件，其特征在于：每个挂钩弹簧以及吸嘴的吸附面均与吸盘平行设置。3.根据权利要求1所述的硅片分片吸盘组件，其特征在于：所述吸盘固定装置包括一个顶板，顶板上设置有若干隔槽，...
【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，凌勇，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。