下载硅片分片吸盘组件的技术资料

文档序号:17602709

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本实用新型公开了一种硅片分片吸盘组件,包括若干个吸盘以及吸盘固定装置,所述吸盘通过固定装置进行固定,吸盘平行设置,每个吸盘上设置有若干个中空部,每个中空部中设置有一个吸嘴,吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘,吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成...
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