压印用的模板制造装置制造方法及图纸

实施方式的压印用的模板制造装置(1)具备：工作台(3)，对模板(W)进行支承，该模板(W)具备基体(11)和凸部(12)，该基体(11)具有主面，该凸部(12)设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有凹凸图案；供给头(4)，向工作台(3)上的模板(W)供给液状的疏液材料；移动机构(Y轴移动机构(6)、一对X轴移动机构(8A)及(8B))，使工作台(3)以及供给头(4)在沿着工作台(3)的方向上相对移动；以及控制部(9)，对供给头(4)以及移动机构进行控制，以使供给头(4)避开凹凸图案而至少在凸部(12)的侧面涂布液状的疏液材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压印用的模板制造装置
本专利技术的实施方式涉及压印用的模板制造装置。
技术介绍
近年来，作为在半导体基板等被处理物上形成细微的图案的方法，提出了一种压印法。该压印法是如下方法：将形成有凹凸图案的模具(原版)按压于涂布在被处理物上的抗蚀剂等液状的被转印物(例如光固化性树脂)的表面，之后，从形成有凹凸图案的面的相反侧的面照射光，使模具脱离固化后的被转印物，从而使凹凸图案转印于被转印物。作为按压于液状的被转印物的表面的模具，使用了模板。该模板也被称作模塑、压印模或者压模等。模板由透光性高的石英等形成，以便在使前述的被转印物固化的工序(转印工序)中，容易被紫外线等光透过。在该模板的主面设有凸部(凸状的部位)，在该凸部形成有用于向液状的被转印物按压的凹凸图案。例如，将具有凹凸图案的凸部称作台地(mesa)部，将模板的主面中除台地部以外的部分称作非台地(オフメサ)部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5537517号公报
技术实现思路
专利技术将要解决的课题然而，若将模板按压于液状的被转印物，则液状的被转印物虽然是少量但还是从凸部的端部渗出，渗出的液状的被转印物有时会沿着凸部的侧面(侧壁)而隆起。由于附着于凸部的侧面的被转印物通过光照射而保持其状态地固化，因此若将模板脱离被转印物，则被转印物存在隆起部分，将会产生图案异常。另外，在模板从被转印物脱离时，有时被转印物的隆起部分会紧贴于模板侧，之后，在某一时刻掉落到被转印物上而成为灰尘。若模板被按压于该掉落的灰尘上，则会导致模板侧的凹凸图案破损，或者掉落的灰尘进入模板侧的凹凸图案间并成为异物，因此将会产生模板异常。而且，若利用这种具有破损的凹凸图案的模板、或被异物进入了的模板继续进行转印，则被转印物的图案会产生缺陷，并产生图案异常。本专利技术将要解决的课题在于，提供一种能够抑制图案异常以及模板异常的产生的、制造压印用的模板的模板制造装置。用于解决课题的手段实施方式的压印用的模板制造装置具备：工作台，对模板进行支承，该模板具备基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于主面上，具有与主面相反一侧的端面，在该端面上形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向工作台上的模板供给将液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使工作台以及供给头在沿着工作台的方向上相对移动；以及控制部，对供给头以及移动机构进行控制，以使供给头避开凹凸图案而至少在凸部的侧面涂布液状的疏液材料。专利技术效果根据本专利技术的实施方式，能够制造可抑制图案异常以及模板异常的产生的压印用的模板。附图说明图1是表示第1实施方式的压印用的模板制造装置的概略结构的图。图2是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第1工序剖面图。图3是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第2工序剖面图。图4是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第3工序剖面图。图5是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第4工序剖面图。图6是用于说明第1实施方式的涂敷工序的第5工序俯视图。图7是表示第1实施方式的涂敷结束的模板的概略结构的剖面图。图8是用于说明第1实施方式的压印工序的剖面图。图9是表示第2实施方式的涂敷工序中使用的框体的侧视图。图10是用于说明第3实施方式的涂敷工序的俯视图。图11是用于说明第3实施方式的涂敷工序的变形例的俯视图。具体实施方式(第1实施方式)参照图1至图8对第1实施方式进行说明。第1实施方式的压印用的模板制造装置是在模板上涂布液状的疏液材料而涂敷模板的一部分的涂布涂敷装置的一个例子。如图1所示，第1实施方式的模板制造装置1具备用于处理模板W的处理室2、供未处理的模板W放置的工作台3、向工作台3上的模板W供给液状的疏液材料的供给头4、对工作台3上的模板W进行拍摄的拍摄部5、使供给头4沿Y轴方向移动的Y轴移动机构6、使Y轴移动机构6与供给头4一同沿Z轴方向移动的一对Z轴移动机构7A及7B、使一对Z轴移动机构7A及7B沿X轴方向移动的一对X轴移动机构8A及8B、以及控制各部分的控制部9。首先，参照图2对成为被涂敷物的模板W进行说明。如图2所示，模板W包括具有主面11a的基体11和设置在基体11的主面11a上的凸部12。基体11具有透光性，并形成为主面11a为平面的板状。该基体11的板形状例如是正方形或长方形等形状，但其形状不被特别限定。基体11例如能够使用石英基板等透明基板。此外，在压印工序中，主面11a的背面成为被紫外线等光照射的面。凸部12具有透光性，利用与基体11相同的材料形成为一体。在该凸部12的端面、即与主面11a侧相反的一侧的面(图2中的上表面)形成有凹凸图案12a。该凹凸图案12a是被按压于液状的被转印物(例如光固化性树脂)的图案。此外，虽然凸部12的端面中形成有凹凸图案12a的图案区域例如是正方形或长方形的区域，但其形状不被特别限定。返回图1，处理室2形成为能够对工作台3、供给头4、拍摄部5、各移动机构6、7A、7B、8A以及8B等进行收容的箱形状。在该处理室2的上表面设有对空气中的异物进行去除的过滤器2a，在处理室2的下表面(底面)设有排气口2b。在处理室2内，空气从过滤器2a流向排气口2b，处理室2内利用下降流(垂直层流)保持为清洁。此外，作为过滤器2a，例如能够使用ULPA过滤器或HEPA过滤器等。工作台3是具有销等多个支承部件3a、并利用这些支承部件3a支承模板W的支承部。该工作台3固定于处理室2的底面，但并不限定于此，例如，也可以使工作台3沿X轴方向、Y轴方向等水平方向、或Z轴方向等上下方向移动。供给头4是使液状的疏液材料滴下的分配器，对从处理室2外的罐等供给的液状的疏液材料进行收容，使该收容的液状的疏液材料在规定时刻朝向工作台3上的模板W滴下。该供给头4电连接于控制部9，其驱动被控制部9控制。液状的疏液材料是具有透光性而将液状的被转印物弹开的材料。作为该材料，例如能够使用硅烷偶联剂。拍摄部5以能够对工作台3上的模板W、特别是凸部12以及其周边进行拍摄的方式安装于处理室2的上表面。该拍摄部5电连接于控制部9，将拍摄到的图像(例如凸部12的俯视图像)向控制部9发送。Y轴移动机构6支承供给头4，沿Y轴方向引导该供给头4而使其移动。另外，一对Z轴移动机构7A以及7B水平地支承Y轴移动机构6，将该Y轴移动机构6与供给头4一起沿Z轴方向引导而使其移动。这些Y轴移动机构6、一对Z轴移动机构7A以及7B配置成门型形状。一对X轴移动机构8A以及8B支承直立状态的一对Z轴移动机构7A以及7B，沿X轴方向引导这些Z轴移动机构7A以及7B而使其移动。Y轴移动机构6与一对X轴移动机构8A以及8B作为使工作台3与供给头4在水平方向上相对地移动的水平移动机构发挥功能。另外，一对Z轴移动机构7A以及7B作为使工作台3与供给头4在上下方向上相对移动的上下移动机构发挥功能。这些移动机构6、7A、7B、8A以及8B电连接于控制部9，其驱动被控制部9控制。此外，作为各移动机构6、7A、7B、8A以及8B，例如能够使用线性马达式的移动机构、空气工作台式的移动机构、进给丝杠式的移动机构等各种移动机构。控制部9具备集中地控制各部分的微型计算机、以及存储关于涂敷处理的处理信息及各种程序等的存储部(均未图示)。该控制部9基于处理信息及各种程序控制供给头4、各移动机构6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，对模板进行支承，该模板具备基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，具有与上述主面相反一侧的端面，在上述端面上形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂布上述液状的疏液材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.31 JP 2015-074110;2015.06.03 JP 2015-113041.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，具备：工作台，对模板进行支承，该模板具备基体和凸部，该基体具有主面，该凸部设于上述主面上，具有与上述主面相反一侧的端面，在上述端面上形成有向液状的被转印物按压的凹凸图案；供给头，向上述工作台上的上述模板供给将上述液状的被转印物弹开的液状的疏液材料；移动机构，使上述工作台以及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；以及控制部，对上述供给头以及上述移动机构进行控制，以使上述供给头避开上述凹凸图案而至少在上述凸部的侧面涂布上述液状的疏液材料。2.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，上述控制部对上述移动机构进行控制，以使上述供给头离开上述主面中的上述凸部的侧面，并与如下位置对置：该位置是供给到上述主面的上述液状的疏液材料不会扩散地越过上述凸部的侧面、而是附着至上述凸部的侧面的上端的供给位置。3.根据权利要求2所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，还具备对上述端面的平面形状进行拍摄的拍摄部，上述控制部控制上述移动机构，以使上述供给位置配合于上述拍摄部所拍摄到的上述端面的平面形状地变化。4.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，还具备使上述工作台以及上述供给头沿上下方向相对移动的上下移动机构，上述控制部控制上述移动机构以及上述上下移动机构，以使向上述工作台上的上述模板供给了上述液状的疏液材料的上述供给头向离开上述凸部的斜上方移动。5.根据权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村聪，出村健介，松岛大辅，幡野正之，柏木宏之，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，东芝存储器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP