处理装置制造方法及图纸

该处理装置例如具有：载放处理对象(2)的多个载置台(8)；装设多个载置台(8)的旋转台(9)；及容纳载置台(8)等的箱体(13)，部分载置台(8)配置在对处理对象(2)实施处理的处理位置(8A)，部分载置台(8)配置在实施替换处理对象(8)的替换位置(8B)。在箱体(13)形成有在配置于替换位置(8B)的载置台(8)的上侧配置的开口部(34c)，在配置于替换位置(8B)的载置台(8)的下侧配置有使载置台(8)上升的上升机构(11)。如果配置在替换位置(8B)的载置台(8)被升起，则开口部(34c)被封闭，箱体(13)的内部变为被密闭了的空间，处理对象(2)露到箱体(13)的外侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】处理装置
本专利技术涉及对规定的处理对象实施处理的处理装置。
技术介绍
以往，公知有对液晶面板实施检查的检查装置(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的检查装置被组装在液晶面板的制造处理工序的中途。该检查装置具有：对液晶面板实施点亮检查的探测器；向探测器搬运检查前的液晶面板的搬入侧传送机；将由搬入侧传送机搬运的液晶面板搬进探测器的搬入机构；将检查后的液晶面板从探测器搬出的搬出机构；以及搬运由搬出机构搬出的液晶面板的搬出侧传送机。在专利文献1所记载的检查装置中，探测器具有：载放液晶面板的工作台；从液晶面板的背面向液晶面板照射光的背光源；映出液晶面板的表面的映像的屏幕；以及配置在工作台与屏幕之间的光学系统等，这些结构配置在箱体中。在箱体处设有：在由搬入机构搬进液晶面板时进行开闭的滑门；以及在由搬出机构搬出液晶面板时进行开闭的滑门。在专利文献1所记载的检查装置中，如果滑门关闭，则箱体的内部变为被密闭了的空间，从而形成为遮挡了外部的光的暗室。液晶面板的点亮检查在滑门呈关闭状态的箱体中实施(即，在变为暗室的箱体的内部实施)，如果液晶面板的点亮检查结束，则滑门打开，检查后的液晶面板被从工作台搬出且检查前的液晶面板被搬进工作台。并且，如果检查前的液晶面板被搬进工作台，则滑门关闭，并在变为暗室的箱体的内部实施下一个液晶面板的点亮检查。即，在专利文献1所记载的检查装置中，交替地实施液晶面板的点亮检查和工作台上的液晶面板的替换。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-107973号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在组装有专利文献1所记载的检查装置的液晶面板的生产系统中，为了提高液晶面板的生产效率，优选在变为暗室的箱体的内部实施点亮检查的检查工序所需的时间短。即，在该生产系统中，优选在密闭空间中实施点亮检查的检查工序所需的时间短。但是，在专利文献1所记载的检查装置中，由于交替地实施液晶面板的点亮检查和工作台上的液晶面板的替换，因此在密闭空间中实施点亮检查的检查工序所需的时间变长。因此，本专利技术的技术问题在于提供以下这种处理装置：即使是在密闭空间中对处理对象实施规定的处理的情况，也能够缩短在密闭空间中对处理对象实施处理的处理工序所需的时间。用于解决技术问题的技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术的处理装置的特征在于，具有：多个载置台，所述载置台供处理对象载放；旋转台，多个载置台可升降地装设于所述旋转台；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构使旋转台以上下方向为旋转的轴向旋转；上升机构，所述上升机构使载置台相对于旋转台上升；以及箱体，所述箱体容纳有载置台、旋转台、旋转驱动机构以及上升机构，多个载置台中的部分载置台配置在对处理对象实施处理的处理位置，多个载置台中的部分载置台配置在实施从载置台搬出处理对象以及向载置台提供处理对象中的至少一方的替换位置，旋转台使载置台在处理位置与替换位置之间移动，在箱体处形成有开口部，所述开口部在配置于替换位置的载置台的上侧配置且能够供处理对象通过，上升机构在配置于替换位置的载置台的下侧配置，如果配置在替换位置的载置台被上升机构升起，则从箱体的内部封闭开口部，从而箱体的内部变为被密闭了的空间，处理对象配置在开口部中，并露到箱体的外侧。在本专利技术的处理装置中，多个载置台中的部分载置台配置在对处理对象实施处理的处理位置，多个载置台中的部分载置台配置在实施从载置台搬出处理对象以及向载置台提供处理对象中的至少一方的替换位置。并且，在本专利技术中，可供处理对象通过的开口部形成于箱体，如果配置在替换位置的载置台被上升机构升起，则从箱体的内部封闭开口部，从而箱体的内部变为被密闭了的空间，处理对象配置在开口部中，并露到箱体的外侧。因此，在本专利技术中，能够一边在密闭空间中对被配置在处理位置的载置台所载放的处理对象实施处理，一边对配置在替换位置的载置台实施替换露到箱体的外侧的处理对象。即，在本专利技术中，在密闭空间中实施的对处理对象的处理和对载置台实施的处理对象的替换能够一起进行。因此，在本专利技术中，即使是在密闭空间中对处理对象实施处理的情况，也能够缩短在密闭空间中对处理对象实施处理的处理工序所需的时间。在本专利技术中，例如处理对象为被实施点亮检查的检查对象，多个载置台中的部分载置台配置在检查位置，所述检查位置作为实施检查对象的点亮检查的处理位置，多个载置台中的部分载置台配置在替换位置，旋转台使载置台在检查位置与替换位置之间移动，如果配置在替换位置的载置台被上升机构升起，则开口部被封闭，箱体的内部变为暗室。在该情况下，能够一边在暗室中对被配置在检查位置的载置台所载放的检查对象实施点亮检查，一边对配置在替换位置的载置台替换露出到箱体的外侧的检查对象。即，在暗室中实施的检查对象的点亮检查和对载置台实施的检查对象的替换能够一起进行。因此，即使是在暗室中对检查对象实施点亮检查的情况，也能够缩短检查对象的检查工序所需的时间。在本专利技术中，例如处理对象为被照射紫外线的照射对象，多个载置台中的部分载置台配置在照射位置，所述照射位置作为向照射对象照射紫外线的处理位置，多个载置台中的部分载置台配置在替换位置，旋转台使载置台在照射位置与替换位置之间移动。在该情况下，能够一边对被配置在照射位置的载置台所载放的照射对象照射紫外线，一边对配置在替换位置的载置台替换露到箱体的外侧的照射对象。即，在密闭空间中向照射对象照射紫外线和对载置台替换照射对象能够一起进行。因此，即使是在密闭空间中向照射对象照射紫外线的情况，也能够缩短向照射对象照射紫外线的照射工序所需的时间。在本专利技术中，优选在替换位置实施从载置台搬出处理对象以及向载置台提供处理对象。如果像这样构成，则与向载置台提供处理对象的替换位置以及从载置台搬出处理对象的替换位置被分开形成的情况相比，能够简化处理装置的结构。在本专利技术中，优选在开口部的边缘形成有环状的凸部，所述凸部朝向下侧突出，在凸部的下端面安装有与载置台的上表面接触的环状的密封部件。如果像这样构成，则在配置在替换位置的载置台被上升机构升起时，能够提高箱体内部的空间的密闭性。在本专利技术中，例如在载置台形成有在上下方向上贯通的贯通孔，在上升机构安装有封闭贯通孔的闭塞部件，如果配置在替换位置的载置台被上升机构升起，则贯通孔被闭塞部件封闭，开口部被载置台和闭塞部件封闭。在该情况下，即使在上下方向上贯通的贯通孔形成于载置台，也能够使箱体的内部变为被密闭了的空间。在本专利技术中，也可以是如果配置在替换位置的载置台被上升机构升起，则开口部被载置台封闭。并且，为了解决上述技术问题，本专利技术的处理装置的特征在于，具有：多个载置台，所述载置台形成有在上下方向上贯通的贯通孔，且供处理对象载放；旋转台，所述旋转台装设有多个载置台；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构使旋转台以上下方向为旋转的轴向旋转；闭塞部件，所述闭塞部件从载置台的下侧封闭贯通孔；闭塞部件升降机构，所述闭塞部件升降机构使闭塞部件升降；箱体，所述箱体容纳有载置台、旋转台、旋转驱动机构、闭塞部件以及闭塞部件升降机构；升降部件，所述升降部件可升降地被保持于箱体；以及升降部件升降机构，所述升降部件升降机构使升降部件升降，多个载置台中的部分载置台配置在对处理对象实施处理的处理位置，多个载置台中的部分载置台配置在实施从载置台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理装置，其特征在于，具有：多个载置台，所述载置台供处理对象载放；旋转台，多个所述载置台能升降地装设于所述旋转台；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构使所述旋转台以上下方向为旋转的轴向旋转；上升机构，所述上升机构使所述载置台相对于所述旋转台上升；以及箱体，所述箱体容纳有所述载置台、所述旋转台、所述旋转驱动机构以及所述上升机构，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在对所述处理对象实施处理的处理位置，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在实施从所述载置台搬出所述处理对象以及向所述载置台提供所述处理对象中的至少一方的替换位置，所述旋转台使所述载置台在所述处理位置与所述替换位置之间移动，在所述箱体形成有开口部，所述开口部在配置于所述替换位置的所述载置台的上侧配置，且能够供所述处理对象通过，所述上升机构在配置于所述替换位置的所述载置台的下侧配置，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则从所述箱体的内部封闭所述开口部，从而所述箱体的内部变为被密闭了的空间，所述处理对象配置在所述开口部中，并露到所述箱体的外侧。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.26 JP 2016-088134;2016.07.25 JP 2016-145131.一种处理装置，其特征在于，具有：多个载置台，所述载置台供处理对象载放；旋转台，多个所述载置台能升降地装设于所述旋转台；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构使所述旋转台以上下方向为旋转的轴向旋转；上升机构，所述上升机构使所述载置台相对于所述旋转台上升；以及箱体，所述箱体容纳有所述载置台、所述旋转台、所述旋转驱动机构以及所述上升机构，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在对所述处理对象实施处理的处理位置，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在实施从所述载置台搬出所述处理对象以及向所述载置台提供所述处理对象中的至少一方的替换位置，所述旋转台使所述载置台在所述处理位置与所述替换位置之间移动，在所述箱体形成有开口部，所述开口部在配置于所述替换位置的所述载置台的上侧配置，且能够供所述处理对象通过，所述上升机构在配置于所述替换位置的所述载置台的下侧配置，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则从所述箱体的内部封闭所述开口部，从而所述箱体的内部变为被密闭了的空间，所述处理对象配置在所述开口部中，并露到所述箱体的外侧。2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述处理对象为被实施点亮检查的检查对象，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在检查位置，所述检查位置作为实施所述检查对象的点亮检查的所述处理位置，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在所述替换位置，所述旋转台使所述载置台在所述检查位置与所述替换位置之间移动，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则所述开口部被封闭，从而所述箱体的内部变为暗室。3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，所述处理对象为被照射紫外线的照射对象，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在照射位置，所述照射位置作为向所述照射对象照射紫外线的所述处理位置，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在所述替换位置，所述旋转台使所述载置台在所述照射位置与所述替换位置之间移动。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的处理装置，其特征在于，在所述替换位置，所述处理装置实施从所述载置台搬出所述处理对象以及向所述载置台提供所述处理对象。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的处理装置，其特征在于，在所述开口部的边缘形成有朝向下侧突出的环状的凸部，在所述凸部的下端面安装有与所述载置台的上表面接触的环状的密封部件。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的处理装置，其特征在于，在所述载置台形成有在上下方向上贯通的贯通孔，在所述上升机构安装有封闭所述贯通孔的闭塞部件，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则所述贯通孔被所述闭塞部件封闭，且所述开口部被所述载置台和所述闭塞部件封闭。7.根据权利要求1至5中的任一项所述的处理装置，其特征在于，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则所述开口部被所述载置台封闭。8.一种处理装置，其特征在于，具有：多个载置台，所述载置台形成有在上下方向上贯通的贯通孔，且供处理对象载放；旋转台，所述旋转台装设有多个所述载置台；旋转驱动机构，所述旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤羽贤俊，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP