一种便携式高精度束流计及应用其的计量分析仪器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种便携式高精度束流计及应用其的计量分析仪器，金属管的一端设置有中空的容纳空间，其另一端设置有连接装置，容纳空间内设置有法拉第杯，法拉第杯朝向金属管端部一侧设有电子收纳口，连接装置上设置有控制电路板，金属管和连接装置设置在真空转接法兰一侧的真空环境内，真空转接法兰上在空气环境一侧安装有信号输出装置和电源，本实用新型专利技术完成在真空内环境中测得电子束流值，可以避免环境磁场等对微弱电流信号的干扰，避免引入过多噪音，影响测量的准确度。

A portable high precision beam meter and its measuring and analyzing instrument

The utility model relates to a portable high precision beam flow meter and application the measurement analysis instrument, one end of a metal pipe is provided with a hollow space, and the other end is provided with a connecting device is arranged in the accommodating space, the Faraday cup, Faraday cup toward the end portion of the metal tube is arranged on one side of the electronic control circuit is connected with a receiving port. Board setting device, a metal pipe and a connecting device is arranged in the vacuum side of the vacuum switching flange, vacuum transfer flange is provided with a signal output device and a power supply installed in the air side, the utility model in a vacuum environment within the measured value of electron beam, can avoid the environmental magnetic field interference of weak current signal avoid introducing, excessive noise, affect the accuracy of the measurement.

【技术实现步骤摘要】
一种便携式高精度束流计及应用其的计量分析仪器
本技术涉及一种便携式高精度束流计及应用其的计量分析仪器，属于计量

技术介绍
在电子显微镜使用过程中，电子从电子枪中出发，到达样品，然后通过相机观察电子打到样品上之后的成像，拍摄得到样品图像，即完成了电子显微镜中的电子成像。这个过程中，需要知道样品上和相机平面上的电子束流值，传统的做法是利用电子显微镜内置的束流计进行测量，但是这个测量过程不方便，而且所得到的值并不精确。在很多科研领域，特别是对打在样品上的电子剂量有严格要求的应用领域，比如冷冻电镜或高分子材料学等样品易受到电子辐照损伤的应用领域，精确测量电子束流是至关重要的。束流计中所使用的法拉第杯，是一个传统的束流强度测量装置，它在加速器束流强度的归一化测量、探测器的标定等方面起到了不可替代的作用。由于法拉第杯是一个绝对测量装置，没有其它设备可以对其标定，反而通常是利用法拉第杯来标定其它实验用探测器，所以法拉第杯的设计和效率的计算变得至关重要，其计算精度直接影响探测器的探测效率的精度，并影响物理实验结果的可信度。传统法拉第杯的具体工作原理是，通过捕获真空中经过法拉第杯的电子或者离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种便携式高精度束流计，其特征在于，包括金属管，所述金属管的一端设置有中空的容纳空间，其另一端设置有连接装置，所述容纳空间内设置有法拉第杯，所述法拉第杯朝向金属管端部一侧设有电子收纳口，其朝向金属管内部一端为密封端，所述连接装置上设置有控制电路板，所述连接装置朝向外环境一端连接真空转接法兰，所述金属管和连接装置设置在所述真空转接法兰一侧的真空环境内，所述真空转接法兰的另一侧为空气环境，所述真空转接法兰上在空气环境一侧安装有信号输出装置和电源。

【技术特征摘要】
1.一种便携式高精度束流计，其特征在于，包括金属管，所述金属管的一端设置有中空的容纳空间，其另一端设置有连接装置，所述容纳空间内设置有法拉第杯，所述法拉第杯朝向金属管端部一侧设有电子收纳口，其朝向金属管内部一端为密封端，所述连接装置上设置有控制电路板，所述连接装置朝向外环境一端连接真空转接法兰，所述金属管和连接装置设置在所述真空转接法兰一侧的真空环境内，所述真空转接法兰的另一侧为空气环境，所述真空转接法兰上在空气环境一侧安装有信号输出装置和电源。2.如权利要求1所述的便携式高精度束流计，其特征在于，所述控制电路板包括设置在电路板上的控制电路，所述控制电路包括与所述法拉第杯连接的低电流放大电路和与所述低电流放大电路连接的模数转换器及单片机。3.如权利要求2所述的便...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯莉，张旭景，高能越，杨如林，孟建斌，
申请(专利权)人：苏州德锐特成像技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32