一种束流诊断高精度直线传动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种束流诊断高精度直线传动装置，包括探头、传动杆、波纹管、动密封、电缸、光栅尺；其中，所述传动杆与探头通过螺钉连接；传动杆穿过波纹管和动密封，波纹管和动密封通过CF超高真空法兰连接；传动杆与动密封通过O型密封圈密封；所述光栅尺的读数头与电缸的滑块连接；所述电缸与传动杆末端相连，所述传动杆在电缸的驱动下沿着导向套做往复直线运动。本发明专利技术利用传动杆前端可安装不同类型的探测靶头，其测量范围可以根据使用需要进行调整，传动杆前端的探头可以测量束流流强与位置信息，从而为束流的调试人员提供束流参考信息，实现加速器稳定高效运行，具有重复定位精度高、测量简便的特点。

A high precision linear transmission device for beam diagnosis

The invention discloses a beam diagnostic precision linear transmission device comprises a probe, a drive rod, a corrugated pipe, dynamic seal, electric cylinder, grating; among them, the transmission rod is connected with the probe through screws; the transmission rod penetrates through the bellows and bellows seal, dynamic seal and through CF high vacuum flange connection; transmission rod and seal seal by O type sealing ring; the grating reading head is connected with the electric slide cylinder; the electric cylinder and the transmission rod end connected to the drive rod in driving electric cylinder along the guide sleeve to do reciprocating motion. The target detection head of the present invention by driving the front end of the rod can be installed in different types, the measuring range can be adjusted according to needs, the front end of the probe rod can measure the beam intensity and beam position information, so as to provide reference information for the beam commissioning personnel, achieve stable and efficient operation of the accelerator, has the characteristics of repetition high positioning accuracy, simple measurement.

【技术实现步骤摘要】
一种束流诊断高精度直线传动装置
本专利技术属于加速器束流测量
，涉及一种用于加速器从加速区到引出区束流流强/位置的测量传动装置，具体是一种束流诊断高精度直线传动装置。
技术介绍
束流诊断是加速器重要组成部分之一。它对优化机器性能以及深入理解加速器物理问题十分重要。束流诊断装置是加速器的眼睛，可以在加速器调试阶段为调束人员提供束流的流强和位置信息，并给相关技术人员重要参考依据。现在各种加速器装置正在加快发展和研究，专利技术一种高精度、高效率的束流测量装置也是一项很重要的任务。申请CN201310507655.3公开一种束流检测及分析装置，用以解决超低能束流的传输、引出电极或传输装置位置有所偏离、传输路径过长的情况所产生的束流精准测量及分析问题；但上述技术在传动方式、测量精度与测量方式上依然不能满足目前的测量需要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于加速器束流诊断高精度直线传动装置，具有测量精度高、结构简单的特点，可以在一定程度上解决上述问题，该装置能够准确测量从加速器加速区到引出区的束流位置/流强信息，为加速器前期调试和后期维护提供束流测量服务，其测量原理简单可靠，可行性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，包括探头(1)、传动杆(2)、波纹管(3)、动密封(4)、电缸(5)、光栅尺(6)；其中，所述传动杆(2)与探头(1)通过螺钉连接；传动杆(2)穿过波纹管(3)和动密封(4)，波纹管(3)和动密封(4)通过CF超高真空法兰连接；传动杆(2)与动密封(4)通过O型密封圈(9)密封；所述光栅尺(6)的读数头与电缸(5)的滑块连接；所述电缸(5)与传动杆(2)末端相连，所述传动杆(2)在电缸(5)的驱动下沿着导向套(10)做往复直线运动。

【技术特征摘要】
1.一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，包括探头(1)、传动杆(2)、波纹管(3)、动密封(4)、电缸(5)、光栅尺(6)；其中，所述传动杆(2)与探头(1)通过螺钉连接；传动杆(2)穿过波纹管(3)和动密封(4)，波纹管(3)和动密封(4)通过CF超高真空法兰连接；传动杆(2)与动密封(4)通过O型密封圈(9)密封；所述光栅尺(6)的读数头与电缸(5)的滑块连接；所述电缸(5)与传动杆(2)末端相连，所述传动杆(2)在电缸(5)的驱动下沿着导向套(10)做往复直线运动。2.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述光栅尺(6)反馈补偿距离到电缸(5)；电缸(5)和光栅尺(6)通过螺钉固定在支撑调节机构(7)上，支撑调节机构(7)固定在加速器外部。3.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述传动杆(2)穿过波纹管(3)和动密封(4)，沿着动密封前进和后退；所述波纹管(3)一端与加速器束测通道连接，另一端与动密封连接。4.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述动密封(4)是与波纹管(3)的一端法兰连接，动密封中间圆孔穿过与之相配的传动杆；所述电缸(5)电缸驱动传动杆(2)沿着唯一的方向进行直线运动，同时电缸提供不同的运动速度和运动模式。5.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精度直线传动装置，其特征在于，所述支撑调节机构(7)与电缸、光栅尺连接，其支撑平面的高度保证测量中心在同一水平面内。6.根据权利要求1所述的一种束流诊断高精...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁开忠，姚凯，陈永华，宋云涛，吴昱城，李君君，冯汉升，陈根，
申请(专利权)人：合肥中科离子医学技术装备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34