下载一种束流诊断高精度直线传动装置的技术资料

文档序号:17515903

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本发明公开了一种束流诊断高精度直线传动装置,包括探头、传动杆、波纹管、动密封、电缸、光栅尺;其中,所述传动杆与探头通过螺钉连接;传动杆穿过波纹管和动密封,波纹管和动密封通过CF超高真空法兰连接;传动杆与动密封通过O型密封圈密封;所述光栅尺的...
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